Ozon Generator mit Controlling und Monitoring System für DxZ SAUSG und BPSG Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-044
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/
Abschnitt II: Gegenstand
Ozon Generator mit Controlling und Monitoring System für DxZ SAUSG und BPSG
2 Stück Referenz ID 0242-95197
Kit Hi-Con Ozone Gen, closed loop
Leistungsdaten:
O2 Flow Range 5-40 SLM
O3 Output 19,6 wt% (>300 g/Nm3) bei 17° Di/Glykol (~50%)
Operating Range:
Ambient Temperatur 10-40°C
Nominal Cell Pressure (Del.) 15-45 psig
Vorgegebene Infrastruktur:
Sauerstoff 6.0, 4-6 bar, Stickstoff 6.0, 4-6 bar
Di/Glykol-Gemisch 16-25°C (100microns)
Resistivity > 50KOhm/cm, garantierte Flußmenge 7 SLM
AC Power:
Voltage 208 VAC (vom Applied Materials Controller)
Current 15A, Frequency 50/60Hz
Es muss der Einbau in das bestehende, abgesaugte und sensorüberwachte Ozonkabinett erfolgen. Deshalb dürfen folgende Abmessungen nicht überschritten werden:
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm, Gewicht max. 70 Kg
Die Geräte müssen folgende Standards erfüllen:
SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1
1 Stück Referenz ID 0190-63554
Ozone Controller, Tapi, CP32, 225 Watt
(Auswerte- und Steuereinheit für Ozongenerator, Anpassungsregelung des Ozongenerators in Abhängingkeit der im Monitoring ermittelten Daten in Echtzeit)
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm
3 Stück Referenz ID 0190-62378
Ozone Monitor, Tapi M452 with OP-39 Lamp
(kontinuierliches Monitoring der Ozonkonzentration)
? alle für den Betrieb und die Interaktion der Komponenten miteinander erforderlichen Steuer-Signal-oder Versorgungskabel müssen Bestandteil des Angebotes sein.
? Nachweis der Funktionalität und der Kompatibilität an einer Applied Materials Centura DxZ SAUSG und BPSG Kammer ist mit Einsatzort und Ansprechpartner zu erbringen.
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
2 Stück Referenz ID 0242-95197
Kit Hi-Con Ozone Gen, closed loop
Leistungsdaten:
O2 Flow Range 5-40 SLM
O3 Output 19,6 wt% (>300 g/Nm3) bei 17° Di/Glykol (~50%)
Operating Range:
Ambient Temperatur 10-40°C
Nominal Cell Pressure (Del.) 15-45 psig
Vorgegebene Infrastruktur:
Sauerstoff 6.0, 4-6 bar, Stickstoff 6.0, 4-6 bar
Di/Glykol-Gemisch 16-25°C (100microns)
Resistivity > 50KOhm/cm, garantierte Flußmenge 7 SLM
AC Power:
Voltage 208 VAC (vom Applied Materials Controller)
Current 15A, Frequency 50/60Hz
Es muss der Einbau in das bestehende, abgesaugte und sensorüberwachte Ozonkabinett erfolgen. Deshalb dürfen folgende Abmessungen nicht überschritten werden:
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm, Gewicht max. 70 Kg
Die Geräte müssen folgende Standards erfüllen:
SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1
1 Stück Referenz ID 0190-63554
Ozone Controller, Tapi, CP32, 225 Watt
(Auswerte- und Steuereinheit für Ozongenerator, Anpassungsregelung des Ozongenerators in Abhängingkeit der im Monitoring ermittelten Daten in Echtzeit)
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm
3 Stück Referenz ID 0190-62378
Ozone Monitor, Tapi M452 with OP-39 Lamp
(kontinuierliches Monitoring der Ozonkonzentration)
? alle für den Betrieb und die Interaktion der Komponenten miteinander erforderlichen Steuer-Signal-oder Versorgungskabel müssen Bestandteil des Angebotes sein.
? Nachweis der Funktionalität und der Kompatibilität an einer Applied Materials Centura DxZ SAUSG und BPSG Kammer ist mit Einsatzort und Ansprechpartner zu erbringen.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1YQGMJFD
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]