Wartungsvertrag und Stundenkonto für Reinraum Messtools Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-001

Auftragsbekanntmachung

Dienstleistungen

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]59
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWP8T998D/documents
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWP8T998D
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Wartungsvertrag und Stundenkonto für Reinraum Messtools

Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-001
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
50000000 Reparatur- und Wartungsdienste
II.1.3)Art des Auftrags
Dienstleistungen
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"

Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023

Gilt für folgende Messgeräte:

1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"

S/N: 6032378

2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"

S/N: 200608080725

Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr

3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"

S/N: 7271531

Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.

Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).

Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.

Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.

Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.

Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.

Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.

Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"

Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023

Gilt für folgende Messgeräte:

1. CD-SEM "eCD2"

S/N: 1032

Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.

Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.

Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.

Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
51000000 Installation (außer Software)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"

Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023

Gilt für folgende Messgeräte:

1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"

S/N: 6032378

2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"

S/N: 200608080725

Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr

3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"

S/N: 7271531

Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.

Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).

Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.

Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.

Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.

Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.

Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.

Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"

Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023

Gilt für folgende Messgeräte:

1. CD-SEM "eCD2"

S/N: 1032

Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.

Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.

Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.

Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 24
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Referenzen:

Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt

Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.

Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:

-Referenzgeber:

-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:

-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:

-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
Die Bekanntmachung betrifft den Abschluss einer Rahmenvereinbarung
Rahmenvereinbarung mit einem einzigen Wirtschaftsteilnehmer
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 03/02/2023
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 04/04/2023
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 03/02/2023
Ortszeit: 12:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.3)Zusätzliche Angaben:

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg

http://vergabemarktplatz.brandenburg.de

Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.

Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.

Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.

Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYWP8T998D

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
03/01/2023

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