Nanoscribe Quantum X Shape
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Kaiserslautern
NUTS-Code: DEB32 Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 67663
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-kl.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Nanoscribe Quantum X Shape
Beschaffung einer Laserlithographieanlage
Technische Universität Kaiserslautern Erwin-Schrödinger-Straße, Geb. 57 67663 Kaiserslautern
Beschaffung, Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Laserlithographieanlage mit hoher Strukturauflösung lateral wie axial, Zweiphotonen-Graustufenlithographie, Objektive
unterschiedlicher NA möglich, automatischer Grenzflächenfinder, Materialdispenser, Dip-In-
Lithographie, schneller Galvoscanner, Selbstkalibrierung, Stitchingprotokolle, Temperaturstabilität
Abschnitt IV: Verfahren
- Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden:
- nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
Das Gerät verfügt alleinig über den für die Forschungsarbeiten benötigten Materialdispenser. Darüber hinaus werden Stitchingprotokolle benötigt, die ebenfalls von keinem anderen Anbieter am Markt angeboten werden. Durch die Dip-In Lithographie ist das Schreiben mit über das gesamte Schreibvolumen konstant Abberationen möglich stellt so die Maßhaltigkeit der Strukturen sicher.Für die Herstellung vom Mikrooptiken und Kalibriertnormalen wird die Zweiphotonen-Graustufenlithographie gewählt, da sie höchste Präzision mit größtmöglicher Schreibgeschwindigkeit komibniert. Darüber hinaus wurde eine Anlage mit Selbstkalibrierung gefordert, da diese Technologie ein reproduzierbares Arbeiten ohne langwieirige Parameteroptinierung ermöglicht.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Lithographiegerät für das LPME
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Eggenstein-Leopoldshafen
NUTS-Code: DE123 Karlsruhe, Landkreis
Postleitzahl: 76344
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXTGYYDYET8
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Mainz
Postleitzahl: 55116
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://mwvlw.rlp.de
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Mainz
Postleitzahl: 55116
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://mwvlw.rlp.de
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Mainz
Postleitzahl: 55116
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: https://mwvlw.rlp.de