PVD Sputter Anlage
Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Ort: Mainz
NUTS-Code: DEB35 Mainz, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.verwaltung.finanzen.uni-mainz.de/einkauf/
Abschnitt II: Gegenstand
PVD Sputter Anlage
Das Projekt zielt auf die Darstellung eines automatisiert betriebenen Quantenprozessors auf der Basis von gefangenen atomaren Ionen ab. Im Rahmen eines Aufstockungsantrag, wollen wir insbesondere die zentrale Schlüsseltechnologie Ionenfallentwicklung adressieren, Design und Herstellung von segmentierten Chip-basierten modernen Ionenfallen, sowie deren Zusammenbau, Integration in den Gesamtaufbau und die abschließende Evaluation. Es sollen alle benötigten Prozessschritte in einem Reinraumlabor zusammengeführt werden.
Eine der wichtigsten Anforderungen an alle Maschinen für dieses Reinraumlabor ist die verlässliche, sichere und einfache Handhabung durch Studenten und wissenschaftliche Mitarbeiter in der Arbeitsgruppe. Da es sich dabei nicht um Experten handelt, sondern um Personen mit wenig bis gar keiner Erfahrung in der Reinraumfertigung, benötigen wir möglichst automatisierte, bzw. einfach zu bedienende Maschinen, welche Prozesse verlässlich und wiederholbar ausführen.
Das Projekt zielt auf die Darstellung eines automatisiert betriebenen Quantenprozessors auf der Basis von gefangenen atomaren Ionen ab. Im Rahmen eines Aufstockungsantrag, wollen wir insbesondere die zentrale Schlüsseltechnologie Ionenfallentwicklung adressieren, Design und Herstellung von segmentierten Chip-basierten modernen Ionenfallen, sowie deren Zusammenbau, Integration in den Gesamtaufbau und die abschließende Evaluation. Es sollen alle benötigten Prozessschritte in einem Reinraumlabor zusammengeführt werden.
Eine der wichtigsten Anforderungen an alle Maschinen für dieses Reinraumlabor ist die verlässliche, sichere und einfache Handhabung durch Studenten und wissenschaftliche Mitarbeiter in der Arbeitsgruppe. Da es sich dabei nicht um Experten handelt, sondern um Personen mit wenig bis gar keiner Erfahrung in der Reinraumfertigung, benötigen wir möglichst automatisierte, bzw. einfach zu bedienende Maschinen, welche Prozesse verlässlich und wiederholbar ausführen.
Abschnitt IV: Verfahren
- Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie
- Nur K.J. Lesker bietet ein Sputtersystem mit 2" Sputter Targets und einer modularen Edelstahlvakuumkammer an, bei der die Seitenwände abgenommen werden können. Größere Sputtersystem mit 3" oder noch größeren Sputtertargets sind für unseren Reinraum ungeeignet aufgrund der hohen Kosten von Edelmetalltargets dieser Größe
- Das System verwendet standardmäßig eine automatische Load-lock, was essenziell für die regelmäßige Nutzung der Anlage durch unerfahrenes Personal ist. Selbst bei erfahrenem Personal, kommt es beim manuellen Transfer oft zu Beschädigungen der Anlage. Eine Motorisierung einer manuellen Load-lock erreicht dabei nicht die gleiche Verlässlichkeit, wie ein standardmäßig automatisches System
- Die Verwendung einer Edelstahlkammer, erlaubt es uns weitere Komponenten in das System, mit Unterstützung der hauseigenen Werkstatt, hinzuzufügen. Aluminiumbasierte Vakuumtechnologie, würde dies deutlich erschweren
- Das K.J. Lesker System hat einen Grundriss von weniger als 1.9 m x 0.9 m was aufgrund der begrenzten Flächen im Reinraum von großer Bedeutung ist
- Die K.J. Lesker Mag Keeper Sputter Quellen sind einzigartige und erlauben ein äußerst einfaches und verlässliches Tauschen der Sputtertargets. Die Sputtertargets werden hierbei einfach magnetisch gehalten und können sehr leicht abgenommen werden. Der neuartige Shutter reduziert die Anfälligkeit des Systems und vereinfacht auch zusätzlich das Tauschen des Targets. Auch erlauben die Mag Keeper Sputter Quellen höher Sputterleistungen, aufgrund verbesserter Kühlung, für ein größeres Prozessfenster
- Die K.J. Lesker Anlage wird mit einem Hochleistungs DC pulsed Power Supply und einem RF Power Supply angeboten, welches das Substrate und auch Sputtertargets mit RF Leistung versorgen kann
Nur K.J. Lesker bietet eine Anlage welche die gewünschte Modularität und Flexibilität mit der nötigen verlässlichen, einfachen Bedienbarkeit kombiniert, was auch die verlässliche Bedienung durch weniger erfahrenes Personal ermöglicht.
Abschnitt V: Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
Ort: Hastings, East Sussex
NUTS-Code: UKJ22 East Sussex CC
Land: Vereinigtes Königreich
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Ort: Mainz
Land: Deutschland