Weißlichtinterferometer (WLI) Referenznummer der Bekanntmachung: 2023-RPTU-0778
Vorinformation
Diese Bekanntmachung dient nur der Vorinformation
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Kaiserslautern
NUTS-Code: DEB32 Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 67663
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://rptu.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Weißlichtinterferometer (WLI)
Freiwillige Ex-Ante Bekanntmachung über geplanten Kauf eines neuen Weißlichtinterferometer (WLI) inkl. Lieferung, Installation und Schulung.
RPTU-Rheinland-Pfälzische Technische Universität Kaiserslautern Landau Gottlieb-Daimler-Straße, Geb. 44-Raum 208 67663 Kaiseslautern
Ziel der hier beantragten Beschaffung ist es, den unterschiedlichen Arbeitsgruppen am LPME zukünftig ein Referenzmessgerät zur Topographiemessung bereitzustellen, welches es erlaubt, berührungslos-optisch höchste vertikale Auflösungen bei minimalen Messunsicherheiten unabhängig von den Vergrößerungen der verwendeten Objektive - laterale Auflösung rein beugungsbegrenzt - zu erreichen. Dabei ist der Anspruch höchster Auflösung bei geringster Messunsicherheit zwingend für den Erfolg und damit die Auswahl des Gerätes (Referenzgerät). Zudem gestalten sich die zu messenden Objekte in Größe und Beschaffenheit (Material, Reflektivität, lokale Gradienten, etc.), als auch Zielsetzung (geometrische Größen, Form, Welligkeit, Rauheit, Schichtdicke, etc.) äußerst vielfältig.
Geräteanforderungen
Maximale Maße und Aufstellbedingungen
Tischgerät: Aufstellung auf beigestelltem pneum. gedämpften optischem Tischgestell (Breite x Tiefe: 750
mm x 750 mm), Gerätebedienung seitlich neben Gerät (Arbeitstisch beigestellt)
Rechner-Steuereinheit für Rackeinbau (Rittal Flatbox 9HE, 600mm tief)
Aufstellbedingungen vor Ort: Feinmessraum Klasse II, Reinraum Klasse 8, VDI 2038: besser VC-D
Arbeitsbereich und Messvolumen (X, Y, Z in mm)
Messvolumen: mindestens 200 x 200 x 100
Arbeitsvolumen: mindestens 200 x 200 x 200
motorisierter Positioniertisch (XY): 200 x 200 mm² Verfahrweg
mit Referenz und Maßstäben (Repositionierung von Proben)
Freie Arbeitshöhe (Working Distance): bis mindestens 180 mm,
motorisierter Kipp-Neige-Tisch: mind. +/- 2° mit Pivotpunkt oberhalb Probenaufnahme oder
parazentrischer Punkt
mind. 4-fach motorisierter Objektivrevolver
Messraum gut einsehbar
Ausstattung Objektive
Mindestausstattung: 3 x Mirau-Objektive parfokal abgeglichen; 2 x Michelson (die Arbeitsabstände korrelieren mit der N.A., abweichende Leistungskombinationen möglich!)
Mirau: 10x, Arbeitsabstand > 6 mm; NA >= 0.27
Mirau: 20x, Arbeitsabstand > 4 mm; NA >= 0.35
Mirau: 50x, Arbeitsabstand > 3 mm; NA >= 0.50
Michelson: 5x, Arbeitsabstand > 7 mm; NA ? 0.15
Michelson: 10x, LWD, Arbeitsabstand > 16 mm; NA >= 0.25
Erweiterbarkeit der Objektivausstattung
Ausstattung Steuer- und Messsoftware
Auswertung von Einhüllender und Phase
Ausgabe der Stacks und Korrelogramme in darstellungs- und verarbeitbarem Format
("bedingungslos offene", also gänzlich frei verfügbar)
Kollisionsschutz Objektiv-Messobjekt
Stiching-Funktionalität mit "unlimitierter" Bildanzahl
Frei variable Stiching-Funktionalität
Auto-Fokussuche und FokusTracker (x,y und Fokus werden bei Kipp-Neige-Bewegung automatisch
nachgeführt)
Automatisierung von Messvorgängen und Ergebnisdarstellung:
- einfache Erstellung der Messabläufe,
- einstellbarer Ergebnisreport,
- offene Schnittstelle für eigene Addins.
Umschaltung der Bediensprache Deutsch und Englisch
unbegrenzter Zugang zu Updates und Upgrades für die gesamte Nutzungsdauer des Geräts
Auswertesoftware
graphische Benutzeroberfläche zur direkten Visualisierung, Verarbeitung und Analyse der Daten
direkter Zugriff auf Rohdaten, geeignete Datenübergabeformate zu Python, MATLAB und
MountainsMap. Möglichkeit der nachträglichen, veränderten Auswertung der Stacks auch nach eigenen
Addins.
Umfangreiche Auswertemöglichkeiten nach ISO 25178
Automatisierung von Auswerteroutinen und Ergebnisprotokollen
Offlineinstallation und -nutzung (Nutzerzahl: mind. 3, Dauer: unbegrenzt)
unbegrenzter Zugang zu Updates und Upgrades für die gesamte Nutzungsdauer des Geräts
Wiederholbarkeit / Messperformance / Grenzdicke sGr dünner transparenter Schichten:
Systemspezifikation nach dem "Fairen Datenblatt"
Technische Daten basierend auf EN ISO 25178-604:2013 (D):
Wiederholbarkeit der Oberflächentopographie: < 0.1 nm
Wiederholbarkeit der Stufenhöhe: Maximale Abweichung <= 0,1 %
Genauigkeit der Stufenhöhe: Maximale Abweichung <= 0,3 %
Messperformance (Zeit t, Scanrate): mindestens 10 µm/s bei z.B. 1600 x 1200 / Schrittweite < 100 nm
Grenzdicke sGr bei Messungen dünner transparenter Schichten: ab 2 µm
Anforderungen an den Auftragsnehmer
Angebot vollständig und technisch aussagekräftig
Nachweis von mindestens 5 etablierte Forschungseinrichtungen, in denen das Gerät erfolgreich
eingesetzt wird
Serviceumfang
Gewährleistungszeit (48 Monate)
Lieferzeit maximal 16 Wochen
Inbetriebnahme und Schulung (inkl. Abnahme) nach Lieferung innerhalb von 14 Tagen
Aufbau, Inbetriebnahme und vollständige Funktionsprüfung (Abnahmeprüfungen) wird durch
Mitarbeiter*Innen des Anbieters übernommen.
Dokumentation
Abnahme- und Inbetriebnahmeprotokoll
Kalibrierprotokolle
Betriebsanleitung/Systemhandbuch (Software und Hardware) in Deutsch oder Englisch
Risikobewertung/Sicherheitsmatrix, CE/EG-Konformitätserklärung
Training und technische Unterstützung
Installation und Training: mindestens Zwei-Tages-Training der technischen Grundlagen zur Bedienung
des Geräts und dessen Software
Technische Unterstützung: Technische Unterstützung per Fernwartung (E-Mail, Telefon, Online Meeting,
Bildschirmübertragung) durch ausgewiesene Applikationsexperten
Garantierte Dauer der Unterstützung: gesamte Nutzungsdauer des Geräts
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Begründung für die geplante Beschaffung des Weißlichtinterferometer (WLI) bei der Firma Polytec GmbH:
Als einziger Anbieter am Markt bietet Polytec ein Weißlichtinterferometer das neben
der gewünschten Grundausstattung alle für Forschungszwecke benötigten "Spezifikationen" erfüllt. Diese speziellen Geräteanforderungen tragen zu den gebündelten Kernkompetenzen bei und sind als Schnittstelle zwischen innovativer Fertigungstechnik und modernster Messtechnik unabdingbar.
Zu den Alleinstellungsmerkmalen gegenüber anderen Anbietern gehören:
- Systemspezifikation nach "Fairem Datenblatt"
- Arbeitsbereich und Messvolumen (X, Y, Z in mm) des Systems
Messvolumen: 200 x 200 x 100
Arbeitsvolumen: 200 x 200 x 200
- Ausgabe der Stacks und Korrelogramme in darstellungs- und verarbeitbarem Format, also gänzlich bedingungslos und frei verfügbar.
- Auto-Fokussuche und Fokus Tracker: Fokus und Ort bleiben bei Kipp-Neigungsänderung im kompletten Arbeitsvolumen erhalten.
- Exzellente Benutzerfreundlichkeit von Gerät und Software
- Exzellente Messperformance und Güte der Ergebnisse
- Zeitlich unbegrenzter Zugang zu Updates und Upgrades sowie technischer
Unterstützung durch ausgewiesene Applikationsexperten für die gesamte
Nutzungsdauer des Geräts.
- 48 Monate Gewährleistung
- Optionale Aufrüstung des Systems: zusätzliche Lichtquellen, Objektive, etc.
Bezüglich der Kombination Anforderungen und Ausstattung gibt es hierzu keine Alternative. Die Beschaffung der ausgewählten WLI ist daher zwingend bei der Firma Polytec GmbH in Waldbronn
vorzunehmen.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YEW6FP8