Kombiniertes hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronen- und Raman- Mikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: ÖA-EU 05-21
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Zwickau
NUTS-Code: DED45 Zwickau
Postleitzahl: 08056
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.fh-zwickau.de
Abschnitt II: Gegenstand
Kombiniertes hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronen- und Raman- Mikroskop
1.1. Feldfreies Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit integriertem RAMAN System
1.2. Spannungsversorgung für das Gerät im Deutschen Netz mit folgenden Werten (230 V; 50 Hz; Absicherung 16 A)
1.3. variable Beschleunigungsspannung, 0.1 – 30 keV
1.4. Erreichbare Auflösung < 1 nm (15 kV)
1.5. Probenstrom-Bereich (Beam/Probe- current) von mindestens 5 pA bis 300 nA oder mehr
1.6. Beam Deceleration (BD) Modus
1.7. Betriebsarten Hochvakuumbetrieb und Niedervakuumbetrieb
1.8. Pumpensystem ölfrei
1.9. Vollständige Pumpenperipherie (Umlaufkühler falls nötig, Schläuche, Verteiler / Vorpumpensysteme im Nebenraum unterzubringen ca. 6 m vom Mikroskop entfernt)
1.10. Niedervakuum-SE-Detektor
1.11. Hochvakuum-SE-Detektor (Everhart-Thornley-Detektor)
1.12. In der Linse/Säule integrierte SE und BSE Detektoren in verschiedenen Ebenen
1.13. Gesteuerter, pneumatisch oder elektrisch rückziehbarer BSE-Detektor unter der Linse (Arbeitsbereich auch im Niedervakuumbetrieb)
1.14. EDX-Analyse mit stickstofffreiem Detektor, standardfreie und standardbezogene Analyse, (Z>5)
1.15. STEM / TE-System rückziehbar, simultane Darstellung im Hell- und/oder Dunkelfeld (BF/DF/HADF)
1.16. Integrierter Plasmacleaner
1.17. 5-achsiger (XYZ, R und Tilt) Probentisch mit motorisierter Probenbühne (X-/Y-Achsen mindestens 110 mm Verfahrweg; Z-Achse mindestens 60 mm Verfahrweg; Rotation, stufenlose 360° Rotation; Kippung (Neigung / Tilt) von mindestens -5° bis +90°)
1.18. Probengewicht von mindestens 1 kg bei einer Kippung / Tilt von 70°
1.19. Probengröße von mindestens 100 mm Durchmesser und mindestens 60mm Höhe verfahr- rotier- und kippbar (mindestens 45°, im analytischen Arbeitsabstand)
1.20. Integriertes optisches Beobachtungssystem zur Beobachtung der Proben in die Kammer (IR-Kamera zur Navigation)
1.21. Minimale Bildbreite (Sichtfeld) bei 10 mm Arbeitsabstand von 2,5 mm
1.22. Bedienpult (Drehknöpfe und Funktionstasten / “control panel“ / Konsole)
1.23. Vollständige Software zum Betrieb des Feldemitter-Rasterelektronenmikroskops
1.24. Vollständiges Softwarepaket zur Bildbearbeitung (Vermessung, Einfärbung,
Stitching) und Speicherung der Bilder in den Formaten (.tif, .png, bmp, .jpeg, .gif)
und weitere Eigenschaften gemäß Ausschreibungsunterlagen.
Eigenschaften des integrierten Raman-Systems:
2.1. Hoch-Präzise piezoelektrische laterale und axiale Bildgebung mit 250 x 250 x 250 μm Verfahrweg für beugungsbegrenzte Abbildung der Probenoberfläche
2.2. Köhler-Weißlichtbeleuchtung
2.3. Digitalkamera System für Hochauflösende RGB Bilder
2.4. Signal Stabilisation (für Langzeit Signal- und Fokusstabilisation)
2.5. Focus Stacking (erweiterte Fokustiefe wir Weißlichtaufnahmen)
2.6. Hohe Stabilität des konfokalen Messaufbaus während der kompletten Lebensdauer des Systems durch flexible und gleichzeitig robuste Kopplung der System-Komponenten (Faserkopplung)
und weitere Eigenschaften gemäß Ausschreibungsunterlage
Zwickau, DE
1. 5-Achs-Werkzeugmaschine für die Ultraschall-Bearbeitung von bspw. Advanced Materials und HSC-Fräsen auf einer Maschine
1.1 5 Achsen interpolierend
1.2 Verfahrwege in X-, Y-, Z-Richtung max. 250 x 250 x 300 mm
1.3 Linearantriebe in X, Y, Z-Achse
1.4 Schwenkachse (A-Achse) min. -10° bis min.120°, min 40 min-1
1.5 Rotationsachse (C-Achse) 0 - 360° endlos, min. 100 min-1
1.6 Werkzeugmagazin mit min. 20 Plätzen und max. 25 Plätzen
1.7 Erforderlicher Spindeldrehzahlbereich (Bearbeitungsspindel) 20 – 42.000 min-1
1.8 Werkzeugaufnahme (Bearbeitungsspindel) HSK-E 32
1.9 Ultraschall-Übertragung: via Induktion
1.10 3 Stk. Ultraschall-Aktoren zur Aufnahme ER-11 inkl. Zubehör mit HSK-E 32
1.11 3 Stk. Ultraschall-Aktoren zur Aufnahme 14 H6 inkl. Zubehör mit HSK-E 32
1.12 Kühlmittelspülpistole zur Spänespülung im Arbeitsraum bei geöffneter Kabinentür
1.13 Innenkühlmittelzufuhr (IKZ) mind. bis 40 bar inklusive Kühlmittelaufbereitungsanlage mit 200l Edelstahltank und Feinstfilter mit 5 µm
1.14 Außenkühlmittelzufuhr mit umschaltbarer Blasluft-Kühlung
1.15 3-D Bahnsteuerung inkl. Prozessüberwachung und US- Nachregelung (Automatische Erkennung der Resonanzfrequenz während der Bearbeitung; Automatische Nachführung von Ultraschallfrequenz und Amplitude im Bearbeitungsprozess; Visualisierung der ULTRASONIC Parameter)
1.17 Öl- und Emulsionsnebelabscheider
1.18 Schnellspannsystem (z.B. EROWA IST 100 oder vergleichbar)
1.19 Steuerung SIEMENS 840D sl mit Sinumerik Operate und Multi-Touch-Bildschirm (größer 20“) und inklusive unterschiedlichen vorinstallierten Applikationen, wie z.B. Amplitudenüberwachung
1.20 Messtaster Infrarot inklusive Maschinen-Achsen-Messeinrichtung (zur Überprüfung und Korrektur der Genauigkeit der Maschinenkinematik)
1.21 Laserwerkzeugvermessung
1.22 Amplitudenmessung zur Bestimmung der Schwingungsamplitude (in Maschine und Steuerung integriert)
1.23 Elektronisches Handrad für Einrichtebetrieb bei geöffneter Kabinentür
1.24 Anpassung der ULTRASONIC Parameter im CNC-Programm
1.25 Automatische Vorschubanpassung im Bearbeitungsprozess
1.26 Kinematisches 3D CAD-Modell im STEP-Format
1.27 Maschinendokumentation einfach in Deutsch u. Englisch
1.28 Gewährleistung von mindestens 18 Monaten zur Maschine
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Kombiniertes hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronen- und Raman- Mikroskop
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Dortmund
NUTS-Code: DEA52 Dortmund, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 44319
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Integriertes Raman System
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]