Spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer Referenznummer der Bekanntmachung: 10007-2020

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: Ritterstraße 16-22
Ort: Leipzig
NUTS-Code: DED51 Leipzig, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 04109
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [removed]
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-leipzig.de/universitaet/service/ausschreibungen-und-vergaben/
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer

Referenznummer der Bekanntmachung: [removed]
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Gesucht wird ein spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung (u. a. dielektrische Funktion und deren Anisotropie, Band-Band-Übergänge, Exzitonen, Oberflächeneigenschaften) von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke (z. B. ZnO and darauf basierte Mischverbindungen) und dielektrischen Materialien (ZrO2, Al2O3, SiN, SiOx) sowie darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 000 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (250 nm). Um stark räumliche variierende optischen Eigenschaften der Proben, z. B. durch Strukturierungen im ?m-Bereich oder räumliche Gradienten in der Zusammensetzung der verwendeten Materielaien zu bestimmen, ist spektroskopische, abbildende Ellipsometrie erforderlich mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1μm. Das Ellipsometer soll zudem eine Kartierung der optischen Eigenschaften, Materialkonstanten und Probenaufbau erlauben. Des Weiteren kommen zum Teil optisch transparente Substrate zum Einsatz, so dass für eine geeignete Modellierung der Spektren die an der Rückseite des Substrates reflektierten Strahlen nicht detektiert werden sollten.

Zum Leistungsumfang gehören Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Installation, betriebsbereite Aufstellung, Abnahme sowie Einweisung und Schulung.

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DED51 Leipzig, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

Universität Leipzig - Technikum/Analytikum

Linnéstraße 3

04103 Leipzig

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Gesucht wird ein spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung (u. a. dielektrische Funktion und deren Anisotropie, Band-Band-Übergänge, Exzitonen, Oberflächeneigenschaften) von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke (z. B. ZnO and darauf basierte Mischverbindungen) und dielektrischen Materialien (ZrO2, Al2O3, SiN, SiOx) sowie darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 000 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (250 nm). Um stark räumliche variierende optischen Eigenschaften der Proben, z. B. durch Strukturierungen im ?m-Bereich oder räumliche Gradienten in der Zusammensetzung der verwendeten Materielaien zu bestimmen, ist spektroskopische, abbildende Ellipsometrie erforderlich mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1μm. Das Ellipsometer soll zudem eine Kartierung der optischen Eigenschaften, Materialkonstanten und Probenaufbau erlauben. Des Weiteren kommen zum Teil optisch transparente Substrate zum Einsatz, so dass für eine geeignete Modellierung der Spektren die an der Rückseite des Substrates reflektierten Strahlen nicht detektiert werden sollten.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Bewertungskriterien gem. Leistungsverzeichnis / Gewichtung: 60
Qualitätskriterium - Name: Dienstleistung/Service und Garantieleistung / Gewichtung: 20
Qualitätskriterium - Name: Bedienkomfort/Bedienerfreundlichkeit der Software / Gewichtung: 20
Kostenkriterium - Name: Das wirtschaftlichste Angebot hat somit das beste Preis-Leistungs-Verhältnis. / Gewichtung: s.d.
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2020/S [removed]
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: [removed]
Bezeichnung des Auftrags:

Spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
18/08/2020
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Göttingen
NUTS-Code: DE91C Göttingen
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: [Betrag gelöscht] EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4Y9SD7GN

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: PF 10 13 64
Ort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Internet-Adresse: https://www.lds.sachsen.de/index.asp?ID=4421&art_param=363
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: PF 10 13 64
Ort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Internet-Adresse: https://www.lds.sachsen.de/index.asp?ID=4421&art_param=363
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB muss eine Rüge innerhalb von 10 Tagen nach Erkennen des vermeintlichen Verstoßes gegenüber der Vergabestelle erfolgen. Wird einer Rüge durch die Vergabestelle nicht abgeholfen, so hat der Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, die Möglichkeit, bei der unter Ziff. VI.4.1) bezeichneten Stelle einen Nachprüfungsantrag einzureichen.

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: PF 10 13 64
Ort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Internet-Adresse: https://www.lds.sachsen.de/index.asp?ID=4421&art_param=363
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
17/12/2020

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