1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Universität Leipzig
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Lithographiesystem
Beschreibung: Der Leistungsgegenstand dieses Verfahrens ist ein Lithographiesystems zur direkten Erzeugung von Strukturen in Lacken, die auf Festkörperoberflächen aufgebracht sind, mit lateralen Abmessungen von 30 nm oder kleiner.
Kennung des Verfahrens: 27139943-d835-44c1-bb6a-eefead09c319
Interne Kennung: 32909-2023
Verfahrensart: Offenes Verfahren
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Leipzig
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Ort im betreffenden Land
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 290 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXP4Y9SHCUR
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Lithographiesystem
Beschreibung: Es soll Standardstrukturierungsverfahren wie lift-off oder Ätzen ermöglichen. Der Schreibvorgang soll ohne Verwendung von (hoch)energetischen geladenen Teilchen stattfinden. Das System soll den Schreibprozess simultan überwachen und gegebenenfalls Prozessparameter durch Rückkopplungsprozesse in-situ korrigieren, um eine bestmögliche Übertragung des gewünschten Musters zu gewährleisten. Das System soll in der Lage sein, unter dem Lack befindliche Strukturen (z.B. Nanodrähte) zu erkennen um gewünschte Muster auf diesen zu realisieren. Die während eines Strukturierungsvorganges beschreibbare Fläche soll mindestens 50?m x 50?m betragen. Zudem muss ein "field stitching" möglich sein, falls größere Flächen strukturiert werden müssen. Die Genauigkeit beim field stitching muss 50nm oder darunter sein. Weiter soll präzises stitchung ohne künstliche Markierungen (alignment marker) möglich sein. Das System soll in der Lage sein, beliebig geformte Muster zu erstellen und zu schreiben. Weiter soll das System über ein optisches Mikroskop verfügen. Das System soll mittels Graustufenlithografie die Erzeugung von 3D Strukturen erlauben. Alle Das Mess- und Schreibfunktionen des Gerätes sollen über ein Computersystem bedient und durchgeführt werden können. Die Software soll es ermöglichen, Strukturen direkt in ein optische bzw. topografische Aufnahme einzufügen und nach Wunsch auszurichten. Softwareupdates sollen für mindestens 24 Monate kontenlos zur Verfügung gestellt werden. Weiter verfügt das System es über eine CAD Software, um Belichtungsdaten zu erstellen und zu editieren als auch über eine Konvertierungssoftware, welche den Umgang mit verschiedenen Datenformaten wie beispielsweise gds oder bitmap gewährt.
Interne Kennung: 32909-2023
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Leipzig
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Ort im betreffenden Land
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technischer Wert des Lithografiesystems
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Wert der Software, sowie Bedienkomfort / Bedienerfreundlichkeit der Software (bündelt alle technischen und sonstigen Details der Software zur Steuerung, Analyse usw.)
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 30
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Service- und Wartungsfreundlichkeit, Betriebs- und Instandhaltungs-kosten des Systems für den Zeitraum der ersten 5 Jahre
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 10
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Umfang / Konzept der im Angebot enthaltenen Schulung
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 5
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Betreuung/Kundendienst/Service
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 5
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Überprüfungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Leipzig
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Angebot:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Prozentanteil der Vergabe von Unteraufträgen ist bekannt: nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags:
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben: nein
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Statistiken über die strategische Auftragsvergabe:
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Universität Leipzig
Registrierungsnummer: DE 141 51 0 383
Postanschrift: Ritterstraße 26
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04109
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Dezernat 5, Sachgebiet 53 - Vergabestelle-
Telefon: +49 341 97 3100
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen, PF 10 13 64
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04103
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Telefon: +49 3419773800
Fax: +49 3419771049
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen, PF 10 13 64
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04103
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Telefon: +49 3419773800
Fax: +49 3419771049
Rollen dieser Organisation:
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: large
Registrierungsnummer: DE143445073
Stadt: Heidelberg
Postleitzahl: 69123
Land, Gliederung (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Land: Deutschland
Telefon: (+49) 6221 728899 0
Rollen dieser Organisation:
BieterFederführendes Mitglied
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: DEU
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0005
Offizielle Bezeichnung: Beschaffungsamt des BMI
Registrierungsnummer: 994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 24de8a77-19a0-4eeb-9b8d-cee3239f1d24 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 28/02/2024 11:10:37 (UTC+1)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 126193-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 43/2024
Datum der Veröffentlichung: 29/02/2024