Laserdirektbelichter Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de
Abschnitt II: Gegenstand
Laserdirektbelichter
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.
TU Ilmenau
Benötigt wird eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.
EFRE-OP 2014-2020
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Laserdirektbelichter
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Puchheim
NUTS-Code: DE21C Fürstenfeldbruck
Postleitzahl: 82178
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei
zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich
bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)
sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]