Öffentliche Ausschreibung Ilmenau 2022 Laserdirektbelichter Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN 2022-11-08

Laserdirektbelichter Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Einrichtung des öffentlichen Rechts

I.5)Haupttätigkeit(en)

Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Laserdirektbelichter

Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis

Hauptort der Ausführung:

TU Ilmenau

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Benötigt wird eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.

II.2.5)Zuschlagskriterien

Qualitätskriterium - Name: Technische Spezifikationen / Gewichtung: 80

Qualitätskriterium - Name: Software/Steuerung / Gewichtung: 15

Qualitätskriterium - Name: Garantie / Gewichtung: 5

Preis - Gewichtung: 1

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: nein

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

EFRE-OP 2014-2020

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2019/S 151-372179

IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems

IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: TU-075/19-201-ZMN

Bezeichnung des Auftrags:

Laserdirektbelichter

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein

V.1)Information über die Nichtvergabe

Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben

Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei

zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich

bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)

sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]

VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

03/11/2022

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