Laserdirektbelichter Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Laserdirektbelichter

Referenznummer der Bekanntmachung: TU-075/19-201-ZMN
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Hauptort der Ausführung:

TU Ilmenau

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Benötigt wird eine Anlage zur sub-Mikrometer UV-Lithografie mittels direktschreibendem Laserbelichter mit mehreren Wellenlängen auf planaren Substraten sowie auf nichtplanaren Substraten mit ausgeprägtem Höhenprofil insbesondere für die Funktionsintegration für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Technische Spezifikationen / Gewichtung: 80
Qualitätskriterium - Name: Software/Steuerung / Gewichtung: 15
Qualitätskriterium - Name: Garantie / Gewichtung: 5
Preis - Gewichtung: 1
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
Projektnummer oder -referenz:

EFRE-OP 2014-2020

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2019/S 151-372179
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: TU-075/19-201-ZMN
Bezeichnung des Auftrags:

Laserdirektbelichter

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein
V.1)Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei

zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351/4203-1422 zur Verfügung.

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link:https://eee.evergabe-online.de/espd/ Im nächsten Schritt „Ich

bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)

sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
03/11/2022

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