Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de
Adresse des Beschafferprofils: http://www.evergabe-online.de

Einrichtung des öffentlichen Rechts

Bildung

RSML Workstation

Referenznummer der Bekanntmachung: TU-129/21-201-ZMN

Lieferauftrag

Lieferung und Inbetriebnahme eines Rastersondenmikroskopie- und Lithographie-Arbeitsplatzes (RSML), bestehend aus AFM/SPL-Kopf, Auswerteelektronik, Schwingungsisolierung und Akustikhaube für die Entwicklung von Strukturierungstechnologien und die Untersuchung ihrer Grenzen in Bezug auf Auflösung und Geschwindigkeit. Das System soll eine Auflösung im Sub-nm-Bereich erreichen.

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR

NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis

Hauptort der Ausführung:

TU Ilmenau

Lieferung und Inbetriebnahme eines Rastersondenmikroskopie- und Lithographie-Arbeitsplatzes (RSML), bestehend aus AFM/SPL-Kopf, Auswerteelektronik, Schwingungsisolierung und Akustikhaube für die Entwicklung von Strukturierungstechnologien und die Untersuchung ihrer Grenzen in Bezug auf Auflösung und Geschwindigkeit. Das System soll eine Auflösung im Sub-nm-Bereich erreichen.

Ziel des ausgeschriebenen Arbeitsplatzes ist es, die Leistungsfähigkeit von Rastersondenmikroskopie und Rastersondenlithographie an ausgewählten "state of the art" Anwendungen zu untersuchen. Es sollen Strukturen im einstelligen Nanometer-Bereich erzeugen zu können. Durch die Kombination der SPL/AFM-Technologie mit der Nanopositionier- und Nanomesstechnik in Form der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 soll mess- und strukturierungstechnisches Neuland betreten werden. Mit dem Arbeitsplatz sollen die Strukturierungstechnologien weiterentwickelt und deren Grenzen in Bezug auf Auflösung und Geschwindigkeit erweitert werden. Anschließend sollen die Ergebnisse auf die Bearbeitung großer Flächen mit der NFM-100 übertragen werden. Dazu werden geeignete Prozessstrategien entwickelt und die Strukturierbarkeit bis auf die molekulare und atomare Ebene am Beispiel des 100 mm Prozessfeldes des NFM-100 demonstriert. Teilaspekte sind die Prozessgeschwindigkeit, Langzeitemissionseigenschaften und Graustufen-lithographie. Die spitzengestützte E-Beam-assistierte Materialabscheidung wird ebenfalls als hoch lokalisierbarer additiver Prozess untersucht.

Qualitätskriterium - Name: Technische Spezifikation / Gewichtung: 50

Qualitätskriterium - Name: Software / Bedienung / Gewichtung: 45

Qualitätskriterium - Name: Garantie & andere Bedingungen / Gewichtung: 5

Preis - Gewichtung: 100

Optionen: nein

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

EFRE-OP 2014-2020

Offenes Verfahren

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 250-659851

Auftrags-Nr.: TU-129/21-201-ZMN

RSML Workstation

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

22/03/2022

Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja

Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR

Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3

dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei

zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351

/4203-1422 zur Verfügung.

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der

EEE unter dem Link: https://uea.publicprocurement.be/filter?lang=de

Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die

Option " eine Antwort

erstellen" anklicken

Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden

muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.

„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken.

Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)

sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.

Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben

sind die Teile I-III der EEE auszufüllen.

Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden

rklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss

der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen.

Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach

Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]9

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.tu-ilmenau.de

23/03/2022