Öffentliche Ausschreibung Jena 2022 Los 3 - Maskless Aligner Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.03 2022-01-31

Los 3 - Maskless Aligner Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.03

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.leibniz-ipht.de

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRS36/documents

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRS36

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: eingetragener Verein

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Los 3 - Maskless Aligner

Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.03

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4" Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann.

- Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. Albert-Einstein-Straße 9 07745 Jena

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

II.2.5)Zuschlagskriterien

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Ende: 31/07/2022

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Optionen bitte separat auspreisen.

- Zeichnung-Mode (Einzeichnen bzw. importieren von Strukturen wie Linien und Rechtecke in das Kamerabild und diese belichten),

- Bildaufnahme, Breitenmessung und Wafermapping,

- Übersichtsaufnahme größerer Flächen (ca. 10 x 10 mm²),

- Schwingungsgedämpfter Tisch (zum Gerät passend),

- Garantiezeitverlängerung auf 2 Jahre

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

2021 FGI 0020

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.2)Bedingungen für den Auftrag

III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

- Besonderen Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz-IPHT Jena

- Eigenerklärungen gemäß ThürVgG

- Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 02/03/2022

Ortszeit: 13:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch, Englisch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 01/05/2022

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 02/03/2022

Ortszeit: 13:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRRS36

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

26/01/2022

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