Öffentliche Ausschreibung Jena 2021 Los 1 - Mask Aligner Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.01 2021-11-09

Los 1 - Mask Aligner Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.01

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.leibniz-ipht.de

I.3)Kommunikation

Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRLC2/documents

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRRLC2

I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers

Andere: eingetragener Verein

I.5)Haupttätigkeit(en)

Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung

II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Los 1 - Mask Aligner

Referenznummer der Bekanntmachung: 08.21.O.01

II.1.2)CPV-Code Hauptteil

38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

II.1.3)Art des Auftrags

Lieferauftrag

II.1.4)Kurze Beschreibung:

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt einen Mask Aligner aus, welcher zur Belichtung von Photoresistschichten durch entsprechende Photomasken mittels UV-Licht eingesetzt werden soll. Weiterhin soll der Mask Aligner für die Vorder- und Rückseitenbelichtung/-justage von diversen Substraten sowie für Flutbelichtungen nutzbar sein.

- Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert

II.1.6)Angaben zu den Losen

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

II.2)Beschreibung

II.2.3)Erfüllungsort

NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. Albert-Einstein-Straße 9 07745 Jena

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

II.2.5)Zuschlagskriterien

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt

II.2.6)Geschätzter Wert

II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Ende: 30/09/2022

Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein

II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote

Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein

II.2.11)Angaben zu Optionen

Optionen: ja

Beschreibung der Optionen:

Optionen bitte separat auspreisen.

Technik:

- Regelbares Ansaugvakuum für das Handling von Wafern mit Membranen,

- Ersatzteil-Kit für Verschleißteile, zur Vermeidung von Ausfallszeiten,

- Ermittlung der optimalen Belichtungsdosis in mindestens 6 Stufen - ohne Entnahme des Substrates und der Maske,

- UV-Sensor für Wellenlänge 400 nm zur Referenzermittlung.

Optikzubehör:

- 10-fach Objektive für Ober- und Unterseitenmikroskop.

Substrathalter (Chucks):

- 1 Stück Chuck für Wafer 100 mm Durchm., geeignet für Vorder - und Rückseitenjustage, mit Vakuumansaugung im Randbereich des Wafers nach Vorgabe,

- 1 Stück Chuck für Wafer 150 mm Durchm., geeignet für Vorder- und Rückseitenjustage, mit Vakuumansaugung im Randbereich des Wafers nach Vorgabe,

- 1 Stück Chuck für Wafer 150 mm Durchm., geeignet für Vorder- und Rückseitenjustage, mit Vakuumansaugung über den gesamten Wafer.

Maskenhalter:

- 1 Stück für 7" x 7",

- 1 Stück für 5" x 5" für Proximitybelichtung.

Zusatzausrüstungen:

Die Nachrüstbarkeit der folgenden Optionen muss bei Bedarf möglich sein:

- Nanoimprint Lithografie,

- Softwaremodul für Bondalignment sowie Bondchucks.

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

2021 FGI 0020

II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.2)Bedingungen für den Auftrag

III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

- Besonderen Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz-IPHT Jena

- Eigenerklärungen gemäß ThürVgG

- Eigenerklärung für nicht präqualifizierte Unternehmen

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung

IV.1.1)Verfahrensart

Offenes Verfahren

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem

IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

IV.2)Verwaltungsangaben

IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge

Tag: 09/12/2021

Ortszeit: 13:00

IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber

IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:

Deutsch, Englisch

IV.2.6)Bindefrist des Angebots

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 07/02/2022

IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Tag: 09/12/2021

Ortszeit: 13:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags

Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRRLC2

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:

04/11/2021

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