Sputtercluster Referenznummer der Bekanntmachung: TU-009/20-201-ZMN
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de
Adresse des Beschafferprofils: https://www.evergabe-online.de
Abschnitt II: Gegenstand
Sputtercluster
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbares Sputterbeschichstungssystem für die Abscheidung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, und -Nitriden zu beschaffen. Die abgeschiedenen Schichten sollen als Tunnelbarrieren, Elektroden, sowie als aktive Schichten in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als auch in Ferroelektrika Verwendung finden. Ferner, soll das System zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung verwendet werden.
Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Sputterbeschichtungssystem mit zwei getrennten Beschichtungskammern sowie weiteren davon getrennten Oxidations- und Reinigungspositionen zur Abscheidung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden für Anwendungen als Tunnelbarrieren, funktionalen Schichten oder Elektroden in memristiven Bauelementen und als Ferroelektrika sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Sputtercluster
Ort: Oestervraa
NUTS-Code: DK05 Nordjylland
Land: Dänemark
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens):
Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor.
Entsprechend Abschnitt IV.1.2) wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen.
Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens):
In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen.
Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird.
Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Entsprechend der Regelung gemäß §160 GWB
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: http://www.tu-ilmenau.de