ZEBS Referenznummer der Bekanntmachung: ZEBS 2021
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Erfurt
NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 99099
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.cismst.de
Abschnitt II: Gegenstand
ZEBS
Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate
Leistung: PVD-Cluster-Tool.
PVD-Cluster-Tool
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Konrad-Zuse-Straße 14
99099 Erfurt
Leistung: PVD-Cluster-Tool
Vorbemerkung:
Im Auftragsfall umfasst die Leistungsbeschreibung alle erforderlichen Soft- und Hardwarebestandteile, die die ordnungsgemäße Nutzung der zu liefernden Geräte im Sinne der Spezifikation gewährleisten.
Sind bei den zu liefernden Geräten und Komponenten bei der Spezifikation bestimmte Typen angegeben oder ein Vermerk auf einen Hersteller, so sind im Angebot bei Nachweis der Funktionsgleichheit und Bauart Alternativen möglich.
Alle Angebote sind inkl. Lieferung frei Haus, Transportversicherung, Verpackung, Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme, Nachweis der technischen und technologischen Funktionstüchtigkeit und Einweisung.
Die Geräte müssen alle gültigen EU-Normen und EU-Sicherheitsvorschriften erfüllen inkl. CE-Kennzeichnung.
Die geplanten Investitionen im Rahmen des Projektes „Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate“ sind in den stetigen Entwicklungsprozess integriert, der sich zum Ziel setzt, die Marktfähigkeit von bestehenden technologischen Lösungen für essentielle MEMS- und MOEMS-Bauelemente auszubauen und verstärkt auf dem Weltmarkt zu etablieren.
Los-Nr: 1 Bezeichnung: PVD-Cluster-Tool
Lieferumfang:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt eine automatisierte PVD-Beschichtungsanlage für die Bearbeitung von Silizium-Wafern im CMOS-Bereich.
Das modulare Beschichtungstool der neuesten Generation auf der Basis von bewährter und technologisch ausgereifter Anlagentechnik soll eine flexible Prozessführung bei gleichzeitigem hohen Grad an Prozesskontrolle ermöglichen. Das System soll eine möglichst kleine Stellfläche benötigen und ausbaufähig/anschlussfähig für weitere Prozesskammern sein. Der Lieferumfang umfasst neben der ausführlichen Dokumentation, die Inbetriebnahme und Einweisung des Personals am CiS.
Eine Kontrollsoftware, die sowohl Beschichtungsrezepte als auch Beschichtungsparameter verwaltet und regelt, muss anlagenseitig integriert sein.
Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwege können auf Anfrage zugestellt werden.
Folgende Basiskonfiguration muss enthalten sein:
A. Batch-Sputter-Prozesskammer
— Alle Kammer- und Türmaterialien aus Edelstahl 1.304 oder besser,
— Multimagnetronkammer – Top-Down-Prozess,
— Wassergekühlte Chargenvorrichtung für 6 Stück 150 mm Wafer,
— Substratdrehung – kontinuierlich oder indexiert 360 o,
— Pneumatisch betätigter Absperrschieber zwischen Ladeschleuse und Prozesskammer,
— Abnehmbarer Liner (extra als Ersatzsatz),
— Basisdruck im Bereich von 10E-8 mbar.
A1. Vakuumkomponenten
— Regulierbarer Sputterdruck (Baratron),
— Vollbereichsmanomater,
— Vorvakuum- und Turbopumpe,
— Mehrstufige Drosselklappe.
A2. Prozessregelung
— 8"-Magnetrons (3x),
— Softwaregestützter Wechsel zwischen den Magnetrons,
— DC-Generator 3-5kW (angeschlossen an zwei Targets),
— Substratreinigung (Rücksputtern, keine Glimme),
— RF-Generator 1-3kW (angeschlossen an ein Target und Rücksputtersposition/Vorätzer),
— Schichthomogenität über 6"-Wafer +/- 5 %,
— Automatischen Matchbox.
A3. Gasversorgung
— Spülgas N2,
— MFCs (mindestens 3, kalibriert für Ar, O2 und N2),
— Anschlussmöglichkeit für weitere MFCs.
B. Kühlwasserregelung für das Clustersystem
Allgemein: Das Clustertool verfügt über ein Kühlwassersystem mit Temperaturmessung und Durchflussregelung. Relevante Einzelwerte sind anzuzeigen.
C. Dokumentation
Die Dokumentation in deutscher oder englischer Sprache muss die Beschreibung, Bedienung und Wartung aller Komponenten enthalten. Sie ist sowohl in Papierform als auch in digitaler Version beizustellen.
D. Steuersoftware
Rezepte müssen einfach generierbar und überschaubar erstellbar sein.
Im laufenden Prozess muss der Abarbeitungsstand der einzelnen Prozessschritte ersichtlich sein.
Relevante Machinen- und Prozessparameter müssen erfasst und gespreichert werden. Die umfangreiche Datenerfassung soll als Unterstützung der Prozessentwicklung dienen.
— Das System soll vollautomatisch betrieben werden können aber auch gegebenenfalls manuell,
— Die Rezeptdatenverwaltung muss dem aktuellen Stand der üblichen Speicherkapazität entsprechen,
— Maschinenbetrieb und Prozessausführung über SPS-Steuerung,
— PC mit windows-basiertem Interface für die Bearbeitung von Rezepten und veschiedenen Datenprotokollierfunktionen,
— Nutzerebenen mit verschiedene Lese- und Schreibrechten müssen definierbar sein (induviduelle Logins und Passwörter),
— Bildschirmüberwachung der laufenden Abscheideprozesse.
D1. Benutzerebenen
Die Benutzeroberfläche ist in verschiedenen Bedienebenen eingeteilt. Es müssen unterschiedlichen Lese- und Schreibrechte vergeben werden.
Mindestvorgabe: Unterteilung in Bediener, Service und Administrator (in diesem Fall entsprechender Entwicklungsingenieur)
D2. Datenerfassung/-protokollierung
— Datenerfassung pro Wafer,
— Erfassung und Hinterlegung von Störungen (maschinen- oder prozessseitig),
— Datenexport als CSV-Datei oder direkt an SQL-Server.
D3. Remote-Dienste
— Remote – Zugriff zur Unterstützung und Fehlerbehebung,
— Software-Updates,
— Rezepterstellung in Kooperation mit dem Anlagenhersteller.
E. Weiteres
— Garantie von 12 Monaten ab Endabnahme der Anlage,
— Transport, Versicherung, Zollgebühren, Aufstellung und Installation beim Kunden und Reisekosten sind im Endpreis inklusive auszuweisen,
— Das Gerät muss über ausreichende Sicherungsfunktionen/Notausschalter verfügen.
F. Liefer- und Anschlussbedingungen
— Verpackung, Versand, Transportversicherung inklusive,
— Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme inklusive,
— Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten inklusive,
— Einweisung und Training für 3 Nutzer inklusive Schulungskosten.
Mittelherkunft aus Landesmitteln in Anlehnung an die Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie undInnovation (FTI-Richtlinie) vom 18.8.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 7.9.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019 vom 21.1.2019, S. 201-203)
Vorhabens-Nr.: 2021 WIN 0002
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
„Die nachstehenden Ausführungen gelten für Los 1:
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:
— Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123 und § 124 GWB,
— Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation,
— Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur Sozialversicherung.
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug,
3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes – soweit Finanzamt Bescheinigungen ausstellt,
4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse – soweit Betrieb beitragspflichtig,
5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG,
6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis.
Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) – 6) ggf. vom Nachunternehmer (ohne Eignungsleihe)
Auf gesondertes Anfordern vorzulegen.
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen.
Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).
Möglicherweise geforderte Mindeststandards
Die nachstehenden Ausführungen gelten für Los 1:
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens eine Referenz) über früher ausgeführte Liefer- und Dienstleistung der in den letzten höchstens drei Jahren erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)
Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird, selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung Berücksichtigung finden.
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
7) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis der genannten Leistungen
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es muss mindestens eine Referenz vorgelegt werden.
„Diese Ausführungen gelten für Los 1:
Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:
— Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG – Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG – Kontrollen sowie § 18 ThürVgG – Sanktionen,
— Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG),
— Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.
Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung auszuschließen ist.
„Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:
— Formblatt „Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG – Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18 ThürVgG – Sanktionen,
— Formblatt „Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“,
— Formblatt „Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.
Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes spätestens vor der Auftragserteilung folgende Formblätter beim Auftraggeber vorliegen:
— Formblatt „Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“,
— Formblatt „Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.
Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen. Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.
Abschnitt IV: Verfahren
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXP4YENDWP1
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
„Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.“