Plasmaätzanlage für Fluorchemie Referenznummer der Bekanntmachung: 13.20.O.00
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Albert-Einstein-Straße 9
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.leibniz-ipht.de
Abschnitt II: Gegenstand
Plasmaätzanlage für Fluorchemie
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt eine Plasmaätzanlage für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien aus.
Die anzuschaffende Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit fluorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Es sind mit dieser Anlage Strukturübertragungen bis in den tiefen Submikrometerbereich auszuführen und es soll eine Homogenität der Prozesse von ca. 5 % über einer Fläche von 150 mm Durchmesser erreicht werden.
Die Anlage muss reinraumtauglich konstruiert sein, bevorzugt durch die Wand zu installieren oder alternativ direkt im Reinraum aufstellbar sein.
Die Anlage muss als Parallelplatten-Anlage ausgeführt sein und die Option bieten, vor Ort durch den Tausch der Plasmaquelle eine Umrüstung auf ICP-Plasmaätzprozesse vorzunehmen. Die passende ICP-Plasmaquelle und das dafür erforderliche Zubehör müssen im Lieferumfang enthalten sein.
Plasmaätzprozesse sollen mittels Parallelplattenanordnung oder ICP – Plasmaquelle reproduzierbar durchgeführt werden können.
Optionale Komponenten (bitte im Angebot extra auspreisen)
Zusätzlich sollen 2 Reserve-Gaslinien (bereits vorgerüstet, so dass zur Nutzung keine weiteren Komponenten gekauft werden müssen), sowie ein Wärmetauscher für die Pumpen angeboten werden.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Plasmaätzanlage für Fluorchemie
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Ort: Krailling
NUTS-Code: DE21L Starnberg
Postleitzahl: 82152
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Weimarplatz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland