AOI Tool Referenznummer der Bekanntmachung: 12.20.O.00

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: Albert-Einstein-Straße 9
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.leibniz-ipht.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: eingetragener Verein, Mitglied der Leibniz-Gemeinschaft
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

AOI Tool

Referenznummer der Bekanntmachung: 12.20.O.00
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt ein automatisch arbeitendes optisches Messsystem zur Defektinspektion von mikrolithographisch hergestellten Strukturen auf Wafer bis 150 mm Durchmesser aus. Das Gerät soll in der Lage sein, vollautomatisch Strukturdefekte ≥1,5 μm innerhalb dieser Chips zu erkennen, zu dokumentieren und in einer geeigneten Wafermap grafisch darzustellen als auch digital abzuspeichern, um sie an einen vorhandenen Waferprober zur elektrischen Charakterisierung weitergeben zu können (KLA-Format).

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V. schreibt ein automatisch arbeitendes optisches Messsystem zur Defektinspektion von mikrolithographisch hergestellten Strukturen auf Wafer bis 150 mm Durchmesser aus. Das Gerät soll in der Lage sein, vollautomatisch Strukturdefekte ≥1,5 μm innerhalb dieser Chips zu erkennen, zu dokumentieren und in einer geeigneten Wafermap grafisch darzustellen als auch digital abzuspeichern, um sie an einen vorhandenen Waferprober zur elektrischen Charakterisierung weitergeben zu können (KLA-Format).

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: technische Spezifikationen / Gewichtung: 70 %
Preis - Gewichtung: 30 %
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: ja
Beschreibung der Optionen:

Optionale Komponenten (bitte im Angebot extra auspreisen)

1. Objektiv 50x,

2. Softwarepaket zur Implementierung eines Batchmodus, bei dem zunächst mehrere (bis zu 8 St.) Wafer gescannt werden und nachfolgend die Datenanalyse mit Defekterkennung durchgeführt wird.

II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2020/S [removed]
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 12.20.O.00
Los-Nr.: 00
Bezeichnung des Auftrags:

AOI Tool

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
26/10/2020
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: Ernst-Ruska-Ring 11
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: Weimarplatz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
05/11/2020

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