Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) Referenznummer der Bekanntmachung: TU-072/19-201-ZMN
Berichtigung
Bekanntmachung über Änderungen oder zusätzliche Angaben
Lieferauftrag
(Supplement zum Amtsblatt der Europäischen Union, 2019/S [removed])
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Telefon: [removed]
Fax: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de
Abschnitt II: Gegenstand
Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE)
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Abschnitt VII: Änderungen