Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – ALD-Anlage

650714-2026 - Ergebnis
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – ALD-Anlage
OJ S 183/2026 22/09/2026
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen

1. Beschaffer

1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1.
Verfahren
Titel: ALD-Anlage
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Kennung des Verfahrens: 57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c
Vorherige Bekanntmachung: 469404-2026
Interne Kennung: 01.26.O.00
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 461 344,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRMV0A#
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

5. Los

5.1.
Los: LOT-0001
Titel: ALD-Anlage
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Interne Kennung: 01.26.O.00
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 28/08/2026
Enddatum der Laufzeit: 05/09/2027
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Informationen über frühere Bekanntmachungen:
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 469404-2026
Zusätzliche Informationen: Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 549.000 Euro brutto zur Verfügung.
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Spezifikationen
Beschreibung: technische Spezifikationen
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 70
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 30
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Thüringen
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammer Thüringen

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 461 344,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 8760/08/26
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert des Angebots: 456 249,00 EUR
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: 2620130/295321/195032
Titel: ALD-Anlage
Datum der Auswahl des Gewinners: 07/09/2026
Datum des Vertragsabschlusses: 18/09/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 5
Bandbreite der Angebote:
Wert des niedrigsten zulässigen Angebots: 382 429,00 EUR
Wert des höchsten zulässigen Angebots: 461 300,00 EUR

8. Organisationen

8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Registrierungsnummer: DE151282932
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Telefon: 03641206556
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Thüringen
Registrierungsnummer: Land Thüringen
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
Telefon: 0361573321059
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: DE128244113
Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13
Stadt: Krailling
Postleitzahl: 82152
Land, Gliederung (NUTS): Starnberg (DE21L)
Land: Deutschland
Telefon: +49 (0)89 - 89 79 60 70
Fax: +49 (0)89 - 89 79 60 722
Internetadresse: http://www.sentech.de
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 21/09/2026 08:41:50 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 650714-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 183/2026
Datum der Veröffentlichung: 22/09/2026