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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Beschreibung: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
Kennung des Verfahrens: 308081f0-14d6-4e63-950d-bf5467850b37
Interne Kennung: EU-OV/2026-28
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Beschreibung: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
Interne Kennung: EU-OV/2026-28
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: 1
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Der Zuschlag wird nach § 58 VgV auf das unter Berücksichtigung aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Zur Ermittlung des wirtschaftlichsten Angebotes werden ausschließlich die nachfolgenden Kriterien angesetzt: 1) Gesamtangebotspreis (netto; ohne Berücksichtigung von bedingten Rabatten, wie z. B. Skonto; soweit der Auftraggeber im Rahmen der Lieferung Einfuhrabgaben (Zollgebühren) zu entrichten hat, werden diese Kosten bei der Wertung berücksichtigt). * */ max. 40 % (bis zu 40 Wertungspunkte) * Hierbei gilt, dass der beste (günstigste) Preis die maximale Prozentzahl erhält. Das 2-fache des besten Preises entspricht 0%. Alle weiteren Angebote werden entsprechend Ihrer Abweichungen linear interpoliert. Der geringste erreichbare Wert ist 0%. 2) Gewünschte technische Ausführung mit zusätzlicher Wertung, max. 60 %, entspricht bis zu 60 Wertungspunkten - siehe Vergabeunterlagen.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Informationen über die Überprüfungsfristen: Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen bestimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsabschluss informiert die Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zuschlagserteilung. Die Vergabestelle bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung / Rüge vorzubringen ist. Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an: Friedrich-Schiller-Universität Jena Abteilung Einkauf 07743 Jena Zulässig sind Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an: vergabestelle@uni-jena.de Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen. Rügen Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann. Stelle für Nachprüfungsverfahren Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende Vergabekammer wenden: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt Jorge-Semprún-Platz 4 99423 Weimar Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5 ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen.
6. Ergebnisse
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 216 125,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Notion Systems GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 1
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert der Ausschreibung: 216 125,00 EUR
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: ja
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: 1
Datum des Vertragsabschlusses: 30/06/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 2
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Registrierungsnummer: DE150546536
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07743
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Registrierungsnummer: 11111
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
Telefon: 0361 57332 1254
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Notion Systems GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: DE311760327
Stadt: Schwetzingen
Postleitzahl: 68723
Land, Gliederung (NUTS): Rhein-Neckar-Kreis (DE128)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 8e39aa13-68f0-4a3d-9072-f8373c0983ab - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/07/2026 14:26:18 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 455462-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 125/2026
Datum der Veröffentlichung: 02/07/2026