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Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)

455485-2026 - Ergebnis
Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
OJ S 125/2026 02/07/2026
Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferleistungen

1. Beschaffer

1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1.
Verfahren
Titel: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Beschreibung: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Kennung des Verfahrens: 019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf
Interne Kennung: 2026-1
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
Zentrale Elemente des Verfahrens: EU Ausschreibung
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. Kurt-Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim / Germany
Postleitzahl: 04736
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Der Aufruf zum Wettbewerb ist beendet
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv - Sächsische Vergabeordnung
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: Lieferung, Installierung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-beam-System)

5. Los

5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Beschreibung: Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge: 1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim
Postleitzahl: 04720
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 12/05/2026
Enddatum der Laufzeit: 21/12/2026
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Zuwendungsbescheid
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Innovative Beschaffung
Beschreibung: Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber nach Inbetriebnahme ein Elektronenstrahl-Lithografiesystem, welches in dem angefügten Leistungsverzeichnis genauer beschrieben ist.
Innovationsfördernde Auftragsvergabe: Die erbrachten Bauleistungen, Dienstleistungen oder gelieferten Güter beinhalten Prozessinnovationen.
5.1.8.
Zugänglichkeitskriterien
Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Beschreibung: Es wurde ein Angebot abgegeben.
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Auswertung der im Leistungsverzeichnis abgebildeten Bewertungsmatrix.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Informationen über die Überprüfungsfristen: entfällt
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.

6. Ergebnisse

Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 1 052 136,57 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Raith GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: 00000222
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Wert der Ausschreibung: 1 052 136,57 EUR
Vergabe von Unteraufträgen: Noch nicht bekannt
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Projekt: KSI E-LINE 100
Datum der Auswahl des Gewinners: 30/06/2026
Datum des Vertragsabschlusses: 30/06/2026
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1

8. Organisationen

8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Registrierungsnummer: VR 5308
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim
Postleitzahl: 04736
Land, Gliederung (NUTS): Mittelsachsen (DED43)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Telefon: 034327608 150
Fax: 034327 608131
Internetadresse: www.ksi-sensors.de
Profil des Erwerbers: www.evergabe.de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Organisation, die den Auftrag unterzeichnet
8.1.
ORG-0101
Offizielle Bezeichnung: Raith GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Mittleres Unternehmen
Registrierungsnummer: Ust.-ID-Nr.: DE 124727 617
Postanschrift: Konrad-Adenauer-Allee 8
Stadt: Dortmund
Postleitzahl: 44263
Land, Gliederung (NUTS): Dortmund, Kreisfreie Stadt (DEA52)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Raith GmbH
E-Mail: sales@raith.de
Telefon: 0231 95004-0
Internetadresse: www.raith.com
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0102
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 019ef482-c357-4f03-aba3-95f65cf18579 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/06/2026 15:29:03 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 455485-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 125/2026
Datum der Veröffentlichung: 02/07/2026