1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Rechtsform des Erwerbers: Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Beschreibung: The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking
Kennung des Verfahrens: 6630f51f-7185-484c-a04f-6ef513d8d8d9
Interne Kennung: EUOV2601
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01328
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package (RUS sanctions), and the grant notice for the magKI project apply. To this end, the self-declarations 'Non existence reasons for exclusion’ and 'RUS sanctions’ attached to the tender documents, as well as the 'Declaration on the beneficial owner’ must be completed and submitted as part of the tender.
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Beschreibung: The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Laufzeit: 14 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
Zusätzliche Informationen: The equipment is procured through the MagKI investment program
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Performance
Beschreibung: Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 50
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Evaluation price according to Annex 01A
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 50
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Englisch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Zulässig
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 28/04/2026 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 2 Monate
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: in accordance with legal requirements from VgV
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Bundes
Informationen über die Überprüfungsfristen: Legal remedies pursuant to Section 160 GWB: 1) The public procurement chamber shall only initiate a review procedure upon application; 2) Any company that has an interest in the public contract or concession is authorized to apply and asserts an infringement of its rights pursuant to Section 97 (6) GWB due to non-compliance with procurement regulations. It must be shown that the company has suffered or is at risk of suffering damage as a result of the alleged breach of the procurement regulations; 3) The application is inadmissible if: (1) The applicant has recognized the alleged breach of procurement regulations before submitting the application for review and has not notified the contracting authority of this within a period of 10 calendar days; the expiry of the deadline pursuant to Section 134 (2) GWB remains unaffected, (2) violations of procurement regulations that are recognizable on the basis of the contract notice are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders specified in the contract notice at the latest, (3) violations of procurement regulations that are only recognizable in the procurement documents are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders at the latest, (4) more than 15 calendar days have passed since receipt of the notification from the contracting authority that it does not intend to remedy a complaint. Sentence 1 shall not apply to an application for a declaration of invalidity of the contract pursuant to Section 135 (1) No. 2.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Vergabekammer des Bundes
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Registrierungsnummer: 992-80200-35
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01328
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Telefon: +49 351260-0
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer: -
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Registrierungsnummer: --
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 2289499-0
Fax: +49 2289499-163
Rollen dieser Organisation:
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-7006
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: da04575b-4e67-4410-8f47-d94c8152ac2a - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 24/03/2026 15:13:58 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 209081-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 60/2026
Datum der Veröffentlichung: 26/03/2026