1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: NaMlab gGmbH
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Wirtschaftliche Angelegenheiten
2.1.
Verfahren
Titel: Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät
Beschreibung: Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät
Kennung des Verfahrens: 0198a792-5bce-465e-a2c8-811d91608f98
Interne Kennung: NLB2025_08
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
2.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 230 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv - Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift: EU Richtlinien
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Korruption: Ausgefüllte und unterschriebene Eigenerklärung zum Unternehmen, Abfrage Wettbewerbsregister
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: CMP Tisch Gerät
Beschreibung: Die beabsichtigte Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines neuen, nicht gebrauchten Chemisch-Mechanischen-Poliergerätes (Tisch-CMP-Gerät), welches zur kombinierten chemisch-mechanischen Planarisierung von sowohl metallischen als auch dielektrischen Schichten bzw. Filmen genutzt werden soll. Die zu planarisierenden metallischen und dielektrischen Schichten werden üblicherweise mit physikalischen oder chemischen Methoden in Strukturen abgeschieden, die mit photolithographischen Methoden und trockenchemischen Ätzprozessen strukturiert bzw. prozessiert wurden. Das Tisch-CMP-Gerät soll Wafer-Probenstücke der Größen 2x2 cm2, 4x4 cm2 und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 100 mm chemisch-mechanisch polieren können. Das Tool soll in einem Reinraum der ISO Klasse 5 (DIN EN ISO 14644-1) auf einem Tisch installiert und betrieben werden und kompatibel zu der Reinraumklasse sein. Dieser Bereich ist Temperatur- und Luftfeuchte geregelt. Die Entsorgung der gebrauchten Poliermittel soll sowohl über eine Entsorgungsleitung als auch über eine Fassaufnahme möglich sein.
Interne Kennung: LOT-0001
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Menge: 1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 01/11/2025
Enddatum der Laufzeit: 30/04/2026
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 230 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
EU-Mittel — Programm: Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) (2021/2027)
Kennung der EU-Mittel: EFRE InfraProNet 2021-2027, Antragsnummer 100704979
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme#
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung: Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Kriterium: Finanzkennzahlen
Beschreibung: Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung: Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung
Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Beschreibung: Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Zugang zu bestimmten Auftragsunterlagen ist beschränkt
Begründung für die Beschränkung des Zugangs zu bestimmten Auftragsunterlagen: Schutz besonders sensibler Informationen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch, Englisch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit: Unbefristete Vertragserfüllungsbürgschaft in Höhe der ersten Abschlagszahlung, die durch eine Gewährleistungsbürgschaft abzulösen ist.
Frist für den Eingang der Angebote: 25/09/2025 13:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 36 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Details zu den Spezifikationen, Informationen zum Unternehmen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 25/09/2025 13:30:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Zahlungsplan: bei Auftragsvergabe 40 %, bei Lieferung 40 %, bei Abnahme 20 % oder Zahlungsplan: bei Lieferung 80%, bei Abnahme 20%
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: NaMlab gGmbH
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: NaMlab gGmbH
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: NaMlab gGmbH
Registrierungsnummer: HRB 24890
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Stadt: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land, Gliederung (NUTS): Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Einkauf
Telefon: +49 35121249900
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion
Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: Braustraße 2
Stadt: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land, Gliederung (NUTS): Leipzig, Kreisfreie Stadt (DED51)
Land: Deutschland
Kontaktperson: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen
Telefon: +493419771040
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 0198a79d-af9b-4898-bc8e-2c61b49a1ade - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 19/08/2025 13:07:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 543610-2025
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 158/2025
Datum der Veröffentlichung: 20/08/2025