1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Ilmenau
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Beschreibung: Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.
Kennung des Verfahrens: 41010780-0ebd-4b6b-9c94-0996779ccdf6
Interne Kennung: TU-014/24-201-ZMN
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0F)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 442 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Das Verfahren „UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner) mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage“ wird als Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb durchgeführt. Dies entspricht einem mehrstufigen Verfahren, welches nach folgendem Ablauf erfolgt: 1. Stufe: Eignung Es findet ein Teilnahmewettbewerb statt. Dem Bieter werden alle notwendigen Unterlagen des Verfahrens (Eignungsunterlagen, Leistungsbeschreibung, Bewertungsmatrix, usw.) zur Verfügung gestellt. In Stufe 1 wird ausschließlich die Eignung des Bieters geprüft, dementsprechend müssen vom Bieter nur die Eignungsunterlagen (Aufstellung siehe unten) über die eVergabe innerhalb der angegebenen Frist eingereicht werden. Die Eignungsunterlagen werden durch die TU Ilmenau geprüft, entsprechend der genannten Kriterien gewertet und ca. 14 Tage nach Einreichung der Unterlagen erhält der Bieter die Information, ob dieser weiter am Verfahren teilnimmt. Es dürfen ausschließlich die 5 besten Bieter am Verfahren teilnehmen. Übersicht der Eignungsunterlagen: - Einheitliche Europäische Eigenerklärung - Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister - Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit - Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Bewertung der Eignungskriterien (W1) wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters - Absteigende Bewertung der fünf umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 20 %, (W2) Umsatz von Systemen zur UV-Lithografie in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren - Absteigende Bewertung der fünf umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 40 %, (T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Deutschland, nicht älter als 3 Jahre - Absteigende Bewertung der fünf referenzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 30 %, (T2) nächstgelegener Servicestandort - Absteigende Bewertung der Entfernung zum Erfüllungsort (5-1 Pkt.) 10 %, 2. Stufe: Erstangebot Den 5 besten Bietern werden die Vergabeunterlagen vollständig zur Verfügung gestellt. Daraufhin können die Bieter ein Angebot erstellen und über die eVergabe bis zum im Angebotsaufforderungsschreiben genannten Termin einreichen. Das Erstangebot kann bezuschlagt werden. Verhandlungspunkte: - Preis - Techn. Funktionale Spezifikationen (Leistungsbeschreibung Abs. 4.2.1) - Zusatzmerkmale (Leistungsbeschreibung Abs. 4.2.2) - Kooperationsmöglichkeiten (Leistungsbeschreibung Abs. 5.2) 3. Stufe: Verhandlungsphasen Die Bieter werden etwa 1 Woche vor der Verhandlung zu einem Webmeeting eingeladen. Als zeitlicher Rahmen wird ca. eine Stunde festgelegt. Wir möchten Sie bitten uns unmittelbar nach Erhalt der Einladung mitzuteilen, wer an der Verhandlung teilnehmen wird. In diesem Termin können Fragen zum Angebot geklärt werden. Das Ergebnis der Verhandlung wird in die Vergabeunterlagen eingearbeitet und mit erneuter Aufforderung zur Abgabe eines Angebotes, den Bietern zur Verfügung gestellt. Weiterhin erhalten die Bieter die Information, ob: a) Die Verhandlungen abgeschlossen sind und ein endgültiges Angebot abgegeben werden muss b) Über das bevorstehende Angebot in einer weiteren Verhandlungsrunde gesprochen wird. In beiden Fällen (a oder b) muss ein vollständiges Angebot inklusive aller geforderten Unterlagen eingereicht werden. Dabei ist der Termin, welcher im Angebotssaufforderungsschreiben vorgegeben wurde bindend. Sollte diese Frist nicht eingehalten werden, führt dies zum Ausschluss aus dem Verfahren. 4. Stufe: Angebot/Final Offer Nachdem die Vergabeunterlagen erneut bereitgestellt wurden, kann der Bieter ein weiteres Angebot, möglicherweise das finale Angebot, einreichen. Hierbei ist die Terminierung in der Angebotsaufforderung zu beachten. Die bereits eingereichten Unterlagen bzw. ein Verweis auf bereits eingereichte Unterlagen aus vorherigen Angeboten sind nicht mehr gültig. Das Angebot muss vollständig eingereicht werden. Eingegangene Angebote werden erneut formal, unter Einhaltung der in den Vergabeunterlagen angegebenen Punkte, geprüft und fachlich bewertet. ___________________________________________________ Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter dieser Bekanntmachung/Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter derRufnummer: 0228/99 6101234 zur Verfügung. Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen undWiederverwenden der EEE unter dem Link: https://uea. publicprocurement.be/filter?lang=de Im nächsten Schritt „Ich binein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken Bitte weiterhin daraufachten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden „JA“ anklicken. Der Globalvermerk ist nicht anzukreuzen. Dann kanndie EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden. ___ § 8 ThürVgG -Verfahrensanforderungen (1) Bieter sind verpflichtet mit der Abgabe des Angebotes eine Eigenerklärung zur Einhaltungder Bestimmungen des Vergabegesetzes vorzulegen. Das für das öffentliche Auftragswesen zuständige Ministerium legtden Wortlaut der Erklärung nach Satz 1 im Einvernehmen mit dem dafür zuständigen Ausschuss des Thüringer Landtagsfest. Der Auftraggeber ist verpflichtet, in der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen darauf hinzuweisen, dassnur Angebote gewertet werden können, welchen eine Erklärung nach Satz 1 beigefügt ist. Gemäß § 8(1) ThürVgG istdas den Vergabeunterlagen beigefügte Dokument „Anlage_Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 2.1.6. Abs. 1 S.1“ mit dem Angebot einzureichen. Es können nur Angebote gewertet werden, welche die genannte Erklärungenthalten.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Beschreibung: Benötigt wird eine Anlage zur maskenbasierten UV-Lithografie im Laborbetrieb mit sehr hohen Anforderungen hinsichtlich Flexibilität und Präzision. Wichtige Merkmale sind die Eignung für Wafer bis 150 mm Durchmesser, Belichtung mit LED-Quelle mit variablem Spektrum, Sub-Mikrometer-Auflösung und Ausrichtgenauigkeit, automatisches Alignment sowie der Möglichkeit des Bondalignments im Laborbetrieb. Detaillierte Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis beschrieben.
Interne Kennung: TU-014/24-201-ZMN
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0F)
Land: Deutschland
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Qualität
Beschreibung: 50
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: 50
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 50
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Informationen über die Überprüfungsfristen: entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Technische Universität Ilmenau
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Technische Universität Ilmenau
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: 44 059,00 EUR
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: EV Group E.Thallner GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: Angebot von EV Group E.Thallner GmbH
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Konzession – Wert:
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: A24/201/0349
Datum des Vertragsabschlusses: 21/08/2024
Der Auftrag wird als Teil einer Rahmenvereinbarung vergeben: nein
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Technische Universität Ilmenau
Registrierungsnummer: 16901581-0001-19
Stadt: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land, Gliederung (NUTS): Ilm-Kreis (DEG0F)
Land: Deutschland
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Registrierungsnummer: t:0361573321254
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: EV Group E.Thallner GmbH
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Registrierungsnummer: HRB5515
Stadt: Neuhaus am Inn
Postleitzahl: 94152
Land, Gliederung (NUTS): Passau, Landkreis (DE228)
Land: Deutschland
Telefon: +4377125311
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0001
8.1.
ORG-0004
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 3b10ea3c-8f30-442f-a77e-825eb44ffc29 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 16/09/2024 00:00:00 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 557447-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 181/2024
Datum der Veröffentlichung: 17/09/2024