1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Maskless Aligner
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Kennung des Verfahrens: 21694efb-ace8-4d53-9aa9-1f3b39c102cb
Vorherige Bekanntmachung: 153604-2024
Interne Kennung: 04.24.O.00
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Ort im betreffenden Land
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 457 300,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRHAGG
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Maskless Aligner
Beschreibung: Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Interne Kennung: 04.24.O.00
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Ort im betreffenden Land
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Informationen über frühere Bekanntmachungen:
Kennung der vorherigen Bekanntmachung: 153604-2024
Zusätzliche Informationen: Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 457.300,00 Euro netto zur Verfügung.
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 40
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: technische Spezifikationen
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 60
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer Thüringen
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
6. Ergebnisse
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0001
Es wurde kein Wettbewerbsgewinner ermittelt, und der Wettbewerb ist abgeschlossen.
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Sonstiges
6.1.4.
Statistische Informationen:
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Registrierungsnummer: DE151282932
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07745
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
Telefon: 03641206556
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Thüringen
Registrierungsnummer: Land Thüringen
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
Telefon: 0361573321059
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: a0c55478-1f4c-4a5d-92a3-104f94024317 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 19/04/2024 11:34:20 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 238077-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 79/2024
Datum der Veröffentlichung: 22/04/2024