Rasterelektronenmikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Postanschrift: Fürstengraben 1
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 3641-9412220
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-jena.de/
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Rasterelektronenmikroskop

Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.

Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:

- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen

- CD-Messung

- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen

- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen

- Geometrische Analyse von Nanopartikeln

- Abbildung von Baulementen (Chip)

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: 630 000.00 EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.

Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:

- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen

- CD-Messung

- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen

- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen

- Geometrische Analyse von Nanopartikeln

- Abbildung von Baulementen (Chip)

weiteres siehe Anlage 2

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung / Wirtschaftlichkeit / Gewichtung: 50
Preis - Gewichtung: 50
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 134-426018
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: EU-OV/2023-125
Bezeichnung des Auftrags:

Rasterelektronenmikroskop

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
29/09/2023
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 3
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung: Jeol (Germany) GmbH
Ort: Freising
NUTS-Code: DE21B Freising
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 630 000.00 EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 519 154.70 EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Los 2: Entsorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im

Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder per E-Mail) an

die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit

Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von

15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der

Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen

kann.

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
29/09/2023

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