Rasterelektronenmikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Fürstengraben 1
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 3641-9412220
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-jena.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Rasterelektronenmikroskop
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)
Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)
weiteres siehe Anlage 2
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Rasterelektronenmikroskop
Ort: Freising
NUTS-Code: DE21B Freising
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Los 2: Entsorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder per E-Mail) an
die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit
Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von
15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der
Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen
kann.