Rasterelektronenmikroskop Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-125
Berichtigung
Bekanntmachung über Änderungen oder zusätzliche Angaben
Lieferauftrag
(Supplement zum Amtsblatt der Europäischen Union, 2023/S 134-426018)
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
Postanschrift: Fürstengraben 1
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 3641-9412220
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-jena.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Rasterelektronenmikroskop
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Abschnitt VII: Änderungen