PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500 Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-90
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-jena.de
Abschnitt II: Gegenstand
PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Straße 9, 07745 Jena.
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Nach Installation des PEALE-Prozesskits soll die Durchführung von Prozessen mit sehr geringen HF-Leistungen im Bereich von 15-30W und die Regelung von Prozessdruck und Gasflüssen für Zykluszeiten von ≤5s möglich sein. Weiterhin soll ein Echtzeit-Monitoring der Ätztiefe bzw. der verbleibenden Schichtdicke möglich sein und mitgeliefert werden.
Eine Kontamination der Anlage mit ferromagnetischen Materialien ist nicht zulässig, bei der Materialauswahl zu installierender Komponenten ist deshalb darauf zu achten, dass keine ferromagnetischen Materialien eingetragen werden.
Alle geforderten Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.
Az.1050-R5.5-3144/144-4-17423/2023
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur
Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der
Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die
Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl.
Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da
andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig
abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens
05.10.2023 zu stellen.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
Ort: Krailling
NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Das Verfahren unterliegt dem ThürVgG. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland unter Ausschluss internationaler Vereinbarungen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an die
Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit
Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von
15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der
Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen
kann.