OPENSENS/2 Referenznummer der Bekanntmachung: 2023-0044
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Ort: Erfurt
NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.cismst.de
Abschnitt II: Gegenstand
OPENSENS/2
Im Rahmen des Projektes "Optimierte Entwicklungsumgebung für ein ressourcenschonendes Mikrosensorik-Prototyping" möchte das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in ein Testsystem zur Parametererfassung sowie in Zubehör für einen vollautomatisierten Waferprober (Typ MPI TS2000-IFE) investieren. In Kombination mit dem bereits beschafften Probing-System soll eine permanente Parametererfassung für das Mikrosensorik-Prototyping auf 6"-Waferebene ermöglicht werden.
Verbunden mit einer leistungsfähigen schnellen Parameteroptimierung werden ressourcenschonende Entwicklungsprozesse möglich und flexible Entwicklungsergebnisse in kurzer Zeit zielgenau realisierbar (first time right).
Testsystem inkl. Waferprober-Zubehör
Lieferumfang:
Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt ein Testsystem zur Charakterisierung der Sensoren und Teststrukturen auf den Si-Wafern und Waferverbünden inkl. diverses Zubehör für einen vollautomatisierten Waferprober. Das Testsystem soll zu den vorhandenen Messprogrammen und -routinen kompatibel sein.
Vorhandene Medien sind:
- Stromanschluss 2-polig mit zusätzlicher Erdung 32 A
- Vakuum
- Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
- Ethernetanschluss
- Aufstellfläche + Wartungsbereich 2500 mm x 2000 mm
- Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
Der Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen, kann auf Anfrage zugestellt werden.
Anlagenbeschreibung:
Technische Daten:
Anforderungen an das Messsystem:
Das Messsystem zur Paramtererfassung soll folgende Eigenschaften bieten:
- Durchführung von DC I-V und C-U Messungen
- Schaltmatrix mit >= 36 Kanälen zum Schalten und Messen von niedrigen Strömen (pA) und Spannungen bis zu 1300V, Eingänge für Low Current, General Purpose sowie C-V Messung.
- Hochspannung SMU mit >=1kV Ausgangsspannung, 1A, 20W, Vierquadrantenbetrieb, Measurement Resolution 10fA/100nV, TSP support
- Alle Geräte fernsteuerbar über LAN und GPIB
- Triax-Anschlüsse oder Adapter
- 19" Rack inkl. Einbau und zusätzlichen Einlegeböden + Steckdosen, 38 HE
Benötigtes Zubehör für Waferprober System (Typ MPI TS2000-IFE):
Probecard System zum schnellen Wechsel von Probecards im Testfeld:
- Triaxial Anschlüsse zum Messen von pA
- Kabelbaum zur Verkabelung mit Switchmatrix und Prober (z.B. Kantensucher) mit bis zu 36 Kanälen
- Nadelkarten mit bis zu 30 Nadeln, projektspezifisch nachrüstbar
- Temperaturbereich: 20°C - 200°C
- Probecard muss in einer vorgegebenen Zeit ausgetauscht werden können:
o Zeit t für Austauch: < 30s
- Inkl. Muster Probecard mit 2x12 Nadeln für Pads Größe 100x100µm, Pitch in x-Richtung: 140µm, y-Richtung: 300µm
Waferprober (MPI TS2000-IFE) Erweiterungskit:
- Spezialchuckadapter 8" auf 4" zur Messung von 4"-Differenzdruck-Sensorwafern (Vakuumansaugung nur am Waferrand (3,5mm) - Mitte ist hinterlüftet über Schlauchanschluss)
- Spezialchuckadapter 8" auf 4" zur Messung von beidseitigstrukturierten 4"-Fotodetektor-Wafern mit Randauflage (4,0mm breit) und Randansaugung
- Umbau Kit 4" für Waferhandling System mit folgenden Eigenschaften:
o Es sollen mindestens 25 Stück 4-Zoll-Wafer bis 0,675 mm Dicke im Batch gehandelt werden können
o Das Waferhandling soll ausschließlich im 3,5 mm breiten Randbereich (doppelseitig polierte Wafer) erfolgen
o Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette bis 0,675 mm Dicke, e-Pak kompatibel oder 12 Wafer-Kassette für Waferverbünde 4" mit einer Dicke von 3,5 mm
- Zweite Kassette für Standardwafer 4" - 0,675mm Dicke
- 2 Spezialkassetten für Waferverbünde 4" mit einer Dicke von 3,5mm
- Edgesenorkit, Schnittstelle zum Anschluss von 2 Kantensensoren, kompatible mit MPI TS2000 und Sentio, 3,5 mm Klinken-Stecker
2 manuelle Positionierer (je 1x links, je 1x rechts positionierbar) mit 12,5 mm XYZ Verfahrbereich mit 1 µm Auflösung einschließlich high performance DC Mess-Spitze (erweiterter Temperaturbereich >200°C, low noise, fully guarded, fA) mit Arm für Triaxan-schluss sowie Messspitzen und Kabel mit Triaxialanschlüssen.
1 Adapter C-Mount Aufnahmen für eine Kamera ohne Fokusanpassung passend für PSM-1000 / VIS200-S Mikroskope
Benötigtes Zubehör für Waferprober System (Süss PA200):
- Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern, genauere Spezifikation auf Anfrage
Softwarepaket:
- Softwarepaket zum Testen und Charakterisieren elektronischer Bauteile und Waferstrukturen mittels Testskript (LUA, Python, C#)
- Eingebauter Testsequenzer
- Variable Schnittstelle zur Geräteprogrammierung
- Frei programmierbare GUI
- Steuerbar über Remote-Kommandos
- Grafische und Tabellarische Darstellung der Messdaten
- Vorgefertigte Gerätetreiber für Testsytem (siehe oben) sowie für Waferprober (MPI, Formfactor Velox)
- Softwarelizenz für 2 Messplätze
- Softwareupdates für mind. 5 Jahre und Windows 10/11 Unterstützung
Weiteres:
- Gewährleistung von 24 Monaten
- Angabe eines Service-/Kalibrierkonzepts
- Angabe von Wartungsintervallen, Wartungskosten, Betriebskosten pro Jahr
- Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
Dokumente:
- Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher/englischer Sprache
- Aufstell- und Anschlussbedingungen bzw. -parameter
Liefer- und Anschlussbedingungen:
- Verpackung inklusive
- Versand inklusive
- Transportversicherung inklusive
- Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
- Installation inklusive
- Inbetriebnahme inklusive
- Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
- Einweisung und Schulung/ Training (2 Tage) der Nutzer (bis zu 4 Personen)
2022 WIN 0044
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXP4YEN6JNA
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
"Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."