PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500 Referenznummer der Bekanntmachung: EU-OV/2023-90
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.uni-jena.de
Abschnitt II: Gegenstand
PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Straße 9, 07745 Jena.
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Nach Installation des PEALE-Prozesskits soll die Durchführung von Prozessen mit sehr geringen HF-Leistungen im Bereich von 15-30W und die Regelung von Prozessdruck und Gasflüssen für Zykluszeiten von ≤5s möglich sein. Weiterhin soll ein Echtzeit-Monitoring der Ätztiefe bzw. der verbleibenden Schichtdicke möglich sein und mitgeliefert werden.
Eine Kontamination der Anlage mit ferromagnetischen Materialien ist nicht zulässig, bei der Materialauswahl zu installierender Komponenten ist deshalb darauf zu achten, dass keine ferromagnetischen Materialien eingetragen werden.
Alle geforderten Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.
Az.1050-R5.5-3144/144-4-17423/2023
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur
Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der
Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die
Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl.
Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da
andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig
abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens
05.10.2023 zu stellen.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
Folgende Unterlagen sind einzureichen:
o Unternehmensdarstellung
- Allgemeine Unternehmensdarstellung
- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den
Auftraggeber betreuen würde)
- Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse
- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige
- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
o Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das
Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der
Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist
o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen
gemäß § 123 GWB (Anlage 5)
o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von fakultativen Ausschlussgründen
gemäß § 124 GWB (Anlage 6)
o Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte
der letzten drei Jahre).
o Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung
einschließlich der Angabe der Deckungssummen.
o Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und
Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des
Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers
ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern
einzuholen)
o Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)
o Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in
der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8.
April 2022 (Anlage 4.2)
o Auf Anforderung sind vom Best-Bieter die folgenden Erklärungen und
Nachweise vorzulegen
- Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12
Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 7)
- Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17
ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen (Anlage 8)
- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2
ThürVgG) (Anlage 9)
Wenn zutreffend:
- Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt und
Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 10)
- Verpflichtung des Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen
(§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 11)
Abschnitt IV: Verfahren
siehe 1.
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Das Verfahren unterliegt dem ThürVgG. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland unter Ausschluss internationaler Vereinbarungen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an die
Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit
Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von
15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der
Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen
kann.