OPENSENS Referenznummer der Bekanntmachung: cis 2022-0044
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Ort: Erfurt
NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.cismst.de
Abschnitt II: Gegenstand
OPENSENS
Im Rahmen des Projektes "Optimierte Entwicklungsumgebung für ein resourcenschonendes Mikrosensorik-Prototyping" möchte das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in einen vollautomatisierten Waferprober investieren, der eine permanente Parametererfassung für das Mikrosensorik-Prototyping auf 6"-Waferebene ermöglicht.
Verbunden mit einer leistungsfähigen schnellen Parameteroptimierung werden ressourcenschonende Entwicklungsprozesse möglich und flexible Entwicklungsergebnisse in kurzer Zeit zielgenau realisierbar (first time right).
Waferprober mit Handlingsroboter
Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt einen Waferprober mit Handlingroboter zur Charakterisierung der Sensoren und Teststrukturen auf den Si-Wafern und Waferverbünden.
Der Waferprober soll zu den vorhanden Messprogrammen und -routinen kompatibel sein.
Vorhandene Medien sind:
- Stromanschluss 2-polig mit zusätzlicher Erdung 32 A
- Vakuum
- Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
- Ethernetanschluss
- Aufstellfläche + Wartungsbereich 2500 mm x 2000 mm
- Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
Der Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen, kann auf Anfrage zugestellt werden.
Anlagenbeschreibung:
Technische Daten:
Anforderungen an das Basissystem:
Waferprober für Wafer bis 8 Zoll soll folgende Eigenschaften bieten:
- XY-Auflösung +/- 1 µm / Genauigkeit und Reproduzierbarkeit +/-2µm / Geschwindigkeit >30 mm/sec
- Z-Auflösung 1 µm / Genauigkeit und Reproduzierbarkeit < 2 µm / Verfahrweg > 5 mm
- Theta -Auflösung < 1 µm / Genauigkeit und Reproduzierbarkeit < +/- 3 µm / Verdrehwinkel > 5°
- Bedienkonsole für Handsteuerung
- Die Messkammer soll EMV geschirmt sein sowie eine Kabeldurchführung zur Messelektronik bieten
-Die Messkammer soll komplett lichtdicht sein
-Temperaturbereich: +20 °C bis + 150 °C
-Luftkühlung
-Aufheizzeit (+ 20°C bis + 150 °C) < 30 min
-Abkühlzeit (+ 150°C bis + 20 °C) < 35 min
-Temperaturhomogenität: < 0,5 K
-Temperaturgenauigkeit: < 0,2 K
-Isolationswiderstand (Ileak < 10 fA @ + 25 °C) > 1 TOhm
-Durchbruchspannung > 500 V
-Temperaturcontroller mit Hand und fernbedienbar, fernbedienbarerer Standby des Controllers
-Probecardaufnahme für 4,5" x 7"
-Mikroskop mit 5x Vergrößerung, Verfahrbereich von 30 x 30mm x 130mm (Lift), Beleuchtung und zweitem Monitor, Autofokus, Beamsplitter mit C-Mount für zusätzliche Kamera
-Vibrationsfreier Tisch zur Aufnahme aller Geräte außer dem Heiz-/Kühlsystem
-Vorbereitet für Betrieb eines/zwei Kantensensoren
Das Wafer-Handling soll folgenden Anforderungen erfüllen:
-Der Handler soll automatisches Alignment mit einem Pre-aligner bieten
-Die Wafer ID nahe dem Flat soll über einen OCR/Barcode Reader auslesbar sein
-Es sollen mindestens 25 Stück 6-Zoll-Wafer bis 0,675 mm Dicke im Batch gehandelt werden können
-Das Waferhandling soll ausschließlich im 3.5 mm breiten Randbereich (doppelseitig polierte Wafer) erfolgen
-Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette bis 0,675 mm Dicke, e-Pak kompatibel oder 12 Wafer-Kassette für Waferverbünde 6" mit einer Dicke von 3,5 mm
Anforderungen an die Software:
- Graphische Benutzeroberfläche in deutscher/englischer Sprache
- Prober und Temperierung komplett vom PC aus steuerbar inkl. Einstellung aller Schrittweiten, Höhen und Steuerparameter) mit Agilent/HP-VEE, C#, Python, C/C++, Matlab über Ethernet/GPIB
- Programmierschnittstelle kompatibel zu Cascade Velox, kompatible Velux-Version zu PA 200 mit der Seriennummer: 1747346
- Mikroskop komplett vom PC aus steuerbar
- Waferload steuerbar
- Mikroskoplicht schaltbar
- Chuckvakuum schaltbar
- Chucktemperatur (Temperaturcontroller) vom PC aus einstellbar (Soll) und vom PC auslesbar (Ist) sowie sich in Standby schalten lassen
- Software- und Sicherheitsupdates mind. 5 Jahre
- Update auf Windows 11 innerhalb der nächsten 2 Jahre verfügbar
Inkl. Zubehör:
- Spezialchuckadapter 8" auf 6" zur Messung von 6"-Differenzdruck-Sensorwafern (Vakuumansaugung nur am Waferrand - Mitte ist hinterlüftet über Schlauchanschluss)
- Spezialchuck zur Messung von beidseitigstrukturierten 6"-Fotodetektor-Wafern mit Randauflage (6mm breit) und Randansaugung
- zweite Kassette für Standardwafer 6" - 0,675 mm Dicke
- 2 Spezialkassetten für Waferverbünde 6" mit einer Dicke von 3,5 mm
- PC-Hardware in notwendiger Konfiguration inklusive Betriebssystem Windows 10 Professional
- Fernwartung durch Remote Access
- 8 manuelle Positionierer (je 4x links, je 4x rechts positionierbar) mit 12,5 mm XYZ Verfahrbereich mit 1 µm Auflösung einschliesslich high reformance DC Mess-Spitze mit Arm für Triaxanschluss sowie Messspitzen
- Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern für Prober mit der Seriennummer: 45287
- Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern für Prober mit der Seriennummer: 45223
Weiteres:
- Garantie von 24 Monaten
- Angabe eines Servicekonzepts
- Angabe von Wartungsintervallen, Wartungskosten, Betriebskosten pro Jahr
- Anlage mit Sicherheitssystem (Interlock), um Hauptgefahren für Leib und Leben abzuwenden, welche unabhängig von der Steuersoftware arbeitet (EN13849-1:2006)
- Anlage beinhaltet Emergency Stop in der Software und mechanische Taster an der Anlage
- Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
Dokumente:
- Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher/englischer Sprache
- Aufstell- und Anschlussbedingungen bzw. -parameter
Liefer- und Anschlussbedingungen:
- Verpackung inklusive
- Versand inklusive
- Transportversicherung inklusive
- Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
- Installation inklusive
- Inbetriebnahme inklusive
- Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
- Einweisung und Schulung/ Training (2 Tage) der Nutzer (bis zu 4 Personen) inkl. Fernsteuerung des Probers
Projektnr.: 2022 WIN 0044 (EFRE-Mittel)
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Waferprober mit Handlingsroboter
Postanschrift: Heilbronner Strasse 17
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01189
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXP4YEN6NSF
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
"Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."