Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Jena
NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 07745
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.deutsche-evergabe.de

Einrichtung des öffentlichen Rechts

Allgemeine öffentliche Verwaltung

Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage

Referenznummer der Bekanntmachung: VG_INNO_2022_MOS_Kristall_v2

Lieferauftrag

Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden.

Aufteilung des Auftrags in Lose: nein

Wert ohne MwSt.: 950 000.00 EUR

NUTS-Code: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt

Hauptort der Ausführung:

in den Vergabeunterlagen aufgeführt

Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden. Beim LPE-Verfahren werden die Substratwafer in eine unterkühlte Schmelzlösung aus Fe2O3, Bi2O3, Ga2O3, B2O3 und PbO bei Temperaturen von 600 bis 1250°C eingetaucht. Dabei kann durch epitaktisches Kristallwachstum eine einkristalline Funktionsschicht abgeschieden werden. Anlagentechnisch ist der hohe Dampfdruck von Bleioxid zu beachten und es müssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen vorhanden sein, um die Exposition der Umgebung mit Blei-haltigen Verbindungen auszuschließen. Wesentliche Prozessparameter der Anlage sind ein definiert einstellbarer vertikaler Temperaturgradient im Ofen, sowie die Möglichkeit, Tiegel und Probenhalter in zeitlich programmierbaren Translations- und Rotationsbewegungen zu verfahren. Zusätzlich soll die Möglichkeit geschaffen werden, die Homogenisierung der Schmelze durch die Einkopplung einer definierten mechanischen Schwingung in den Tiegel zu verbessern. Das Anfahren der Zuchttemperatur durch Absenkung der Temperatur der Schmelze um ca. 100 K muss durch die Durchströmung des Ofenrohrs mit Druckluft auf eine Zeitspanne von wenigen Stunden reduziert werden können. Es müssen anlagentechnische Vorkehrungen getroffen werden, die erhöhte Abdampfung von Bleioxid während der Abkühlphase zu unterdrücken. Die Anlage muss außerdem die Möglichkeit bieten, die zu beschichtenden Wafer durch geeignete Prozessierung thermisch vor- und nachzubehandeln. Die Anlage muss als Komplettsystem mit allen zur Beschichtung von 4-Zoll-Wafern notwendigen Einbauten inklusive Leistungselektronik, Kühlwasser¬kreislaufsystem, Abluftsystem sowie Steuerungs- und Regelungssystem mit PC angeboten werden. Die Anforderungen an die einzelnen Prozessparamater sind zwingend dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen. Weitere Bedingungen sind in der Anlage "Vergabebedingungen" hinterlegt!

Qualitätskriterium - Name: Die Anforderungsmerkmale haben eine Gewichtung von / Gewichtung: 70

Preis - Gewichtung: 30

Optionen: nein

Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja

Projektnummer oder -referenz:

FTI-Richtlinie - Förderkennzeichen: 2022 WIN 0024 "Wirtschaftsnahe Infrastruktur"

Offenes Verfahren

Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 010-023412

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja

07/03/2023

Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0

Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2

Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Blaibach
NUTS-Code: DE235 Cham
Postleitzahl: 93476
Land: Deutschland

Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein

Gesamtwert des Auftrags/Loses: 950 000.00 EUR

Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.

(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.

(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.

(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

07/03/2023