schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor) Referenznummer der Bekanntmachung: TU-102/22-201-ZMN
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de
Abschnitt II: Gegenstand
schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.
TU Ilmenau
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.
In einem gesonderten Punkt sind die Kosten pro Jahr für einen Wartungsvertrag optional anzugeben. Darin sind die enthaltenen Leistungen zu spezifizieren.
2022 IZN 0008
Eine Anzahlung nach Beauftragung ist möglich, eine Absicherung dieser Zahlung durch eine unbefristete Bankbürgschaft wird allerdings vorausgesetzt.
Zahlungsplan:
30% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer
60% nach Lieferung an die TU Ilmenau
10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme
oder
90% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer
10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)
Ort: Montpellier
NUTS-Code: FR France
Postleitzahl: 34000
Land: Frankreich
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3
dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei
zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0228/99
610 1234 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der
EEE unter dem Link: https://uea.publicprocurement.be/filter?lang=de
Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die
Option " eine Antwort erstellen" anklicken
Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden
muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.
„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken.
Der Globalvermerk ist nicht anzukreuzen.
Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)
sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.
Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben
sind die Teile I-III der EEE auszufüllen.
Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden
Erklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss
der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen.
Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach
Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland
entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Internet-Adresse: http://www.tu-ilmenau.de