Lieferung eines Atomlagenabscheidesystems Referenznummer der Bekanntmachung: FHI 0114-2022-03 GFW
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14195
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.fhi-berlin.mpg.de/
Abschnitt II: Gegenstand
Lieferung eines Atomlagenabscheidesystems
Lieferung eines Atomlagenabscheidesystems
Fritz-Haber-Institut
der Max-Planck-Gesellschaft
Faradayweg 4-6
14195 Berlin
Lieferung und betriebsbereite Aufstellung eines Atomlagenabscheidesystems (atomic layer deposition = ALD) bestehend aus einem thermischen Teil und einer Plasmakomponente für die Beschichtung mit Metallen und Metalloxiden, von Nanopartikeln und von Metallsubstraten.
Abschnitt IV: Verfahren
- Der Auftrag fällt nicht in den Anwendungsbereich der Richtlinie
Forge Nano bietet ein ALD System, das für die Beschichtung von Pulvern spezialisiert
ist. Insbesondere verhindert das System den Verlust der Nano- und Mikropulver durch den Gasstrom und gewährleistet die homogene Beschichtung der Pulver durch Wirbelbetten, rotierende Prozesskammern und Anti-Agglomerationshilfen. Aufgrund des Fokus auf Pulverbeschichtungen, hat die Firma Forge Nano spezielle Vorrichtungen zur Verhinderung der Agglomeration und zur kontrollierten Dosierung der Vorläufergase entwickelt und patentiert. Die dynamischen und mechanischen Vorrichtungen zur Verhinderung der Agglomeration sind unerlässlich zur Herstellung von kontrollierten Beschichtungen. Die kontrollierte Dosierung ist wichtig, damit wir auch mit Pulvern reproduzierbare Ergebnisse erzielen können. Herkömmliche Systeme kontrollieren nur den Druck in der Beschichtungskammer und den Durchfluss der Vorläufergase. Bei komplexer Morphologie wie Nanopartikel Pulvern, kann dies jedoch zu unterschiedlichen Schichtdicken im Pulver führen. Dies wird dadurch verhindert, dass die Menge des Vorläufergases genauestens mit dem patentierten "bumper tank" kontrolliert wird, bevor es in die rotierende Kammer
gegeben wird. Darüber hinaus verhindert diese Vorrichtung den Verlust großer Mengen an teuren Edelmetallpulvern in die Abgasleitung, welcher bei hohen Durchflüssen und geringen Partikelgrößen unvermeidbar ist.
Weiterhin speziell für Forge Nano ist die Möglichkeit, die Prozesskammer zur
Beschichtung der Pulver (rotierende Kammer oder Wirbelbett) durch eine andere Kammer für die Beschichtung von 3D Objekten auszutauschen. Das Pandora System erlaubt uns dies selbst vor Ort und zeitsparend durchzuführen. Dies ist wird benötigt, da wir nicht nur Pulver, sondern auch andere Objekte, inklusive Wafer, Metallblöcke und Stäbe mit Metalloxiden beschichten müssen. Dies ist wichtig für den Korrosionsschutz für Komponenten unserer elektrochemischen Zellen.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Lieferung eines Atomlagenabscheidesystems
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Thornton
NUTS-Code: US United States
Postleitzahl: CO 80241
Land: Vereinigte Staaten
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80538
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]