A1395_2022 - SE-IP – CatLab - Depositions-Cluster-Tool
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]5
Fax: [gelöscht]5
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
Abschnitt II: Gegenstand
A1395_2022 - SE-IP – CatLab - Depositions-Cluster-Tool
Ziel dieser Ausschreibung ist die Beschaffung eines Depositions-Cluster-Tools , gemäß Leistungsbeschreibung und Vergabeunterlagen
PECVD Depositionskammer, D-RIE Ätzkammer, zentraler Handler und Magazinschleuse
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB),
Albert-Einstein-Straße 15, 12489 Berlin
Als eines von 18 Zentren der Helmholtz-Gemeinschaft beschäftigt das HZB rund 1.100 Mitarbeiter - davon zirka 800 in Berlin-Wannsee und 300 in Berlin-Adlershof – und verfügt über einen Gesamthaushalt von zirka 110 Millionen Euro. Das HZB arbeitet eng mit den Universitäten und Fachhochschulen in Berlin-Brandenburg zusammen.
Für Forschungsarbeiten zur Struktur und Funktion der Materie betreibt das HZB den Elektronenspeicherring BESSY II, der hochbrillante Synchrotronstrahlung vom Terahertz- bis in den Röntgenbereich erzeugt. Die Anlage dient der Erforschung der Materie und verfügt über hoch spezialisierte Probenumgebungen. Das heißt, hier lassen sich Experimente unter anspruchsvollsten Bedingungen durchführen (hohe Magnetfelder, tiefe Temperaturen, hohe Drücke). Die Weiterentwicklung dieser einzigartigen Instrumente gehört zu den wesentlichen Aufgaben des Zentrums. Mit seinem Nutzerservice ermöglicht das HZB jährlich rund 3.000 externen Wissenschaftlern (aus bislang 35 Ländern) den Zugang zu den zum Teil einzigartigen Messmethoden. Erklärtes Ziel ist es, die komplementäre Nutzung von Neutronen und Photonen zu fördern, denn mit beiden erhält man ein vollständigeres Bild der Materie.
Die Realisierung einer nachhaltigen Energieversorgung ist eine zentrale, drängende Fragestellung dieses Jahrzehnts. Die Forschung steht vor der Herausforderung, zukunftsfähige Ansätze für die Lösung der Energiefrage zu entwickeln.
Im Rahmen des CatLab Projektes des HZB, welches im EMIL Gebäude, genauer im dortigen SiSSY Labor, situiert ist, werden neuartige Dünnschichtkatalysatoren basierend auf mono- und multimetallischen Schichten synthetisiert und charakterisiert. Als Trägersubstrat werden im Bereich niedriger Technology Readiness Level Silizium sowie Pyrex Wafer eingesetzt, für höhere TRL werden alternative Substrate wie z.B. Metallfolien eingesetzt. Die Anwendungen für die Katalysatoren liegen dabei im Bereich der grünen Wasserstoffgewinnung, alternative Kraftstoffe sowie Umwandlung von Klimagasen wie Methan und/oder CO2 in neue chemische Ausgangsstoffe.
Zur Herstellung und Untersuchung der Katalysatoren sowie Vorbeschichtung der Trägermaterialien soll ein neues Cluster-Depositions- und Strukturierungssystem beschafft werden. Dabei sollen standardisierte Prozesskammern eingesetzt werden und ein zentraler Handler incl. Kassettenloadlock zum Transport genutzt werden.
Das Cluster ist in zwei Lose aufgeteilt. Je nach technologischen Möglichkeiten der Bieter können beide Lose gemeinsam oder nur ein Los angeboten werden.
Los 1 besteht aus den Komponenten:
- K1: Hoch-Temperatur PECVD Depositionskammer für Si, SiOx, SiNx, SiCx,
- K2: Deep Reactive Ion Etch Kammer,
- K3: Zentraler Handler und Kassettenloadlock,
- K4: Software und Integration, welches als voll integriertes Prozessierungssystem mit zentraler Steuerung für die Komponenten K1-3 auszulegen ist.
Für die Anbindung an die Bestandskammer zum UHV Transfersystem, sowie für die Komponente 1 des Los 2 ist, im Fall unterschiedlicher Anbieter von Los 1 und Los 2, ein elektrisches Übergabeprotokoll vorzugeben.
Los 2 besteht aus der Komponente:
- K1: Tripple-Quellen Sputterkammer (PVD) zur Deposition von Metalllegierungen.
Um die Interoperabilität zwischen Los 1 und Los 2 sicherzustellen gilt, dass alle Komponenten gültigen Industriestandards bezüglich mechanischer, elektrischer und Software-Schnittstellen genügen müssen. Daher ist die Konformität nach geltenden SEMI MERS Standard für 150 mm Wafer (bspw. E4, E5, E21, E22 & E24) sicherzustellen.
Die Einhaltung der Spezifikationen ist entsprechend zu belegen.
Liefertermine werden im Rahmen der Verhandlungen abgestimmt.
Erforderlich sind Referenzen zur Herstellung und Lieferung vergleichbarer Systeme, die Sicherstellung einer kostenlosen Support-Hotline (telefonisch und elektronisch) sowie Prozessunterstützung.
siehe Leistungsbeschreibung
Tripple-Quellen Sputterkammer für Metalle und Metall-Legierungen
wie Los 1
siehe Los 1
Liefertermine werden im Rahmen der Verhandlungen abgestimmt.
siehe Los 1
siehe Leistungsbeschreibung
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
- Handelsregisterauszug
• vollständig ausgefüllter und unterzeichneter Bewerbungsbogen inkl.
- Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens bezogen auf die letzten drei Geschäftsjahre,
- Angaben zu Personalstruktur und –qualifikation für das Projekt sowie ggf. Benennung von Nachunternehmern,
- drei Referenzen vergleichbarer Komplexität, nicht älter als drei Jahre, mit kurzer Beschreibung des Projektes,
dessen Dauer und Fertigstellung sowie Angabe eines Ansprechpartners vom Auftraggeber mit dessen Position und Telefonnummer,
• Nachweis der Vertretungsbefugnis bei juristischen Personen, d. h. Beleg der Zeichnungsberechtigung i.V. oder i. A., welcher durch gesetzlichen Vertreter des Unternehmens unterzeichnet ist,
• unterschriebene Eigenerklärung,
• Bevollmächtigung des Vertreters bei Bietergemeinschaften,
• Nachweis der Berufs- bzw. Betriebshaftpflichtversicherung
• kurze Unternehmenspräsentation mit relevanten Daten & Fakten
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Diese Ausschreibung wird einfach und kostengünstig über das elektronische Vergabeinformations-System subreport ELViS abgewickelt.
Der Teilnahmeantrag sowie das Angebot und alle weiteren Unterlagen sind in elektronischer Form auf diesem Portal abzugeben.
Bitte registrieren Sie sich kostenlos unter https://www.subreport.de.
Erste Informationen erhalten Sie unter: subreport Verlag Schawe GmbH, Buchforststr. 1-15, 51101 Köln, Tel.: +49 (0)2 21/9 85 78-23, Fax: +49 (0)221/9 85 78-66, E-Mail: [gelöscht] , Internet: www.subreport.de .
Teilnahmeanträge und Angebote sind ausschließlich elektronisch in Textform abzugeben.
*** LINK: https://www.subreport.de/E32614593 *** Zu den geforderten Leistungen ist ein Hauptangebot abzugeben.
Änderungen und Ergänzungen der Verdingungsunterlagen sind unzulässig. Nebenangebote sind nicht zugelassen.
Mit dem Angebotsdeckblatt (FB 633) ist ein detailliertes Angebot auf Geschäftspapier und das Preisblatt abzugeben.
Das Angebot muss die Preise und eine ausführliche Beschreibung zum Angebotsumfang sowie zum Liefer-/ Leistungszeitraum enthalten. Dadurch muss belegt werden, dass die Vorgaben der Leistungsbeschreibung eingehalten werden.
Das Angebot muss alle (sonstigen) geforderten Angaben und Erklärungen enthalten sowie rechtsverbindlich unterschrieben sein.
Unvollständige Angebote werden ausgeschlossen.
Enthalten die Verdingungsunterlagen nach Auffassung des Bewerbers / Bieters Unklarheiten oder sind diese zur Vertragsausführung unwirtschaftlich, fehlerhaft, unvollständig, nicht eindeutig oder sind die Leistungen objektiv so nicht ausführbar, so hat der Bewerber / Bieter die ausschreibende Stelle unverzüglich schriftlich auf dieses und die erkennbaren Folgen hinzuweisen.
Der Einwand, dass sich der Bewerber / Bieter über den Umfang der Leistung oder die Art und Weise der Ausführung nicht genügend informieren konnte, ist ausgeschlossen.
Unzulässig sind den Wettbewerb beschränkende Absprachen im Sinne des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen, insbesondere Verabredungen oder Empfehlungen über die Abgabe bzw. Nichtabgabe von Angeboten und über die zu fordernden Preise.
Das Angebot kann nur bis zum Ablauf der Angebotsfrist geändert, berichtigt oder zurückgezogen werden.
Vom Ablauf der Angebotsfrist an bis zum Ablauf der Bindefrist ist der Bieter an sein Angebot gebunden.
Das Angebot sowie alle Anlagen und die geforderten Nachweise müssen in sämtlichen Teilen in deutscher oder englischer Sprache vorliegen. Anderssprachige Unterlagen werden nicht gewertet; es sei denn, es liegt eine beglaubigte Übersetzung bei.
Sämtliche Preisangaben sind in EURO netto, d. h. ohne USt, zu machen. Abweichend hiervon muss die Preisangabe im FB 633 - Angebotsschreiben inkl. USt gemacht werden, wenn es sich um einen Bwererber/Bieter mit Firmensitz in der BR Deutschland handelt.
*** Erläuterungen gemäß VgV § 17:
Nach Prüfung der Mindestanforderungen behält sich die Vergabestelle folgendes Vorgehen vor:
a) gemäß Absatz 10 – Aufforderung zur Verhandlung (ggf. schriftlich oder in Berlin) oder b) gemäß Absatz 11 - Zuschlagserteilung OHNE Verhandlungen Der öffentliche Auftraggeber behält sich das Recht vor, den Auftrag auf der Grundlage der ursprünglichen Angebote zu vergeben, ohne Verhandlungen durchzuführen. Alle Angebote sind daher verbindlich abzugeben.
Mitteilung von Unklarheiten in den Vergabeunterlagen:
Die Bieter haben sich unmittelbar nach Erhalt der Vergabeunterlagen über deren Vollständigkeit zu vergewissern.
Enthalten die Vergabeunterlagen nach Auffassung des Bieters Unklarheiten, Ungenauigkeiten oder Rechtsverstöße, so hat der Bieter den Auftraggeber unverzüglich – spätestens sieben Tage vor Ablauf der Frist zur Angebotsabgabe - schriftlich darauf hinzuweisen.
Die Bieter sind verpflichtet, die Vollständigkeit und Lesbarkeit aller Unterlagen unverzüglich zu überprüfen. Nur so verbleibt der Vergabestelle ausreichend Zeit und Gelegenheit, angemessen auf die Anzeigen und Hinweise zu reagieren, dies allen Bietern im Rahmen der gebotenen Verfahrenstransparenz und Gleichbehandlung mitzuteilen und so die Möglichkeit zu geben, diese Aspekte bei der Angebotserstellung rechtzeitig zu berücksichtigen.
Offene Fragestellungen / Rückfragen:
Technische Fragen oder Anmerkungen senden Sie bitte ausschließlich über die Vergabeplattform unter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation) “ in Subreport Elvis. Anfragen per Email oder Telefon sind nicht zulässig. Die Fragen können bis sieben Tage vor Ablauf der Angebotsfrist über die Plattform www.subreport.de gestellt werden.
Wir werden Ihre Fragestellung möglichst kurzfristig beantworten, und sowohl Ihre Fragestellung als auch die resultierende(n) Antwort(en) allen Bietern im Zuge der Gleichbehandlung zusenden.
Zusätzliche Angaben:
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Das Vergabeverfahren wird in mehrstufig durchgeführt:
• Stufe 1:
Teilnahmewettbewerb zur Feststellung der Eignung der Bewerber / Bieter,
*** • Stufe2:
1. Angebotsabgabe, Prüfung und Wertung, dann ggf. Verhandlungen,
2. Angebotsabgabe, Prüfung und Wertung,
Versand Informationsschreiben und Wartefrist gemäß GWB,
Zuschlagserteilung.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse: www.bundeskartellamt.de
Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen. Bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen ergeben, gilt dies bis spätestens zum Ablauf der Angebotsfrist. Teilt der Auftraggeber mit, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, kann innerhalb von 15 Kalendertagen ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer gestellt werden (§ 160 GWB).