A1388_2022 - QM-IFOX - Sputter Deposition System
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]5
Fax: [gelöscht]5
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
Abschnitt II: Gegenstand
A1388_2022 - QM-IFOX - Sputter Deposition System
Gegenstand dieses Vergabeverfahrens ist die Lieferung eines Sputter Deposition Systems, gemäß technischer Spezifikation und Vergabeunterlagen.
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB),
QM-IFOX - Herr Jürgen Albert, Gebäude H 104, Hahn-Meitner-Platz 1, 14109 Berlin
Das Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) beschäftigt rund 1.100 Mitarbeiter, davon 800 in Wannsee und 300 in Adlershof. Es verfügt über ein Gesamtbudget von rund 110 Millionen Euro. Rund 100 Doktoranden aus den umliegenden Universitäten sind am HZB in Forschung und Lehre tätig. Außerhalb der Region Berlin-Brandenburg kooperiert das HZB mit mehr als 400 Partnern an deutschen und internationalen Universitäten, Forschungseinrichtungen und Unternehmen.
Im Institut Funktionale Oxide für energieeffiziente Informationstechnik (IFOX) wird an neuen Materialien für energieeffiziente Informationstechnologien (z.B. Datenspeicherung und -verarbeitung, Energieumwandlung...) geforscht. Der Schwerpunkt liegt auf Metalloxiden, Ferroelektrika (wie HfO2, Hf0,5Zr0,5O2, ZrO2, Ga2O3 usw.), der Integration dieser Materialien in nanoskalige Bauelemente auf Si sowie der Herstellung solcher Bauelemente auf CMOS-Chips.
Zur Unterstützung der Forschung am Institut IFOX benötigen wir eine Sputteranlage für die Abscheidung von metallischen und dielektrischen Dünnschichten und die Herstellung von Mikro-Nanostrukturen durch Photolithographie und Lift-off. Die Sputteranlage sollte über DC- und RF-Quellen für die Abscheidung verfügen. Eine wichtige Anforderung ist, dass die In-situ-Plasmareinigung der Probenoberfläche durch schonendes Sputtern möglich sein sollte. Da für Nanobauteile verschiedene Metalle benötigt werden, sind in der Sputteranlage 4 Targets erforderlich. Typische Metalle, die abgeschieden werden sollen, sind: W, TiN, Ni, Al, Ti, Pt, Au. Die Anlage sollte auch in der Lage sein, Dielektrika wie SiO2 und Halbleiter-Si zu sputtern. Das Sputtern erfolgt nicht-reaktiv. Das Sputtersystem sollte über eine Parallel- und Sputter-Down-Konfiguration verfügen, die wichtig ist, um den Lift-Off-Prozess nach der Sputterabscheidung von Metallen durchzuführen. Eine an das Sputtersystem angeschlossene Schleusenkammer zur Einführung der Probe in die Beschichtungskammer ohne Luftunterbrechung in der Kammer ist zwingend erforderlich.
Das System muss so konstruiert sein, dass es der neuesten Fassung der einschlägigen europäischen Sicherheitsnormen entspricht und sollte so flexibel wie möglich sein, um künftige Aufrüstungen und das Hinzufügen von Komponenten zu ermöglichen. Die wichtigsten Aufrüstungsmöglichkeiten sind: Substrattemperatur, Abscheidung mit HF-Vorspannung auf der Probe, reaktive Zerstäubung mit zusätzlichen Gasen (O2 und N2). Alle Teile, die mit Hochvakuum betrieben/kompatibel sein müssen, müssen von der Firma auf He-Dichtheit geprüft und im Hochvakuum getestet werden.
Der Leistungs-/Lieferumfang beinhaltet das Sputter Deposition System, inklusive der obligatorischen Garantie über 24 Monate, den Transport, die Installation, die Abnahmetests sowie die Schulung der HZB-Nutzer. Maßgeblich sind sämtliche Angaben der technischen Spezifikation.
Die Lieferung sollte so bald wie möglich erfolgen. Angestrebt wird Q2/2023.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
- Handelsregisterauszug (möglichst nicht älter als drei Monate)
Mit dem Angebot sind die nachfolgenden Unterlagen einzureichen:
- Unternehmenspräsentation mit Alleinstellungsmerkmalen
- Nachweis der Betriebshaftpflichtversicherung des Unternehmens
- Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderenLeistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die letzten 3 Geschäftsjahre. Sofern dies nichtgelingt, z. B. aufgrund von Fusion, Übernahme oder Umfirmierung, sind entsprechende Nachweise derUnternehmenswandlung beizulegen. Die wirtschaftliche Leistungsfähigkeit ist hierbei hervorzuheben.
- Nachweis der Vertretungsbefugnis bei juristischen Personen (Zeichnungsberechtigung i.V. oder i.A.)
- Bevollmächtigung des Vertreters bei Bietergemeinschaften
- Unterschriebene Eigenerklärung
Geeignete Bewerber / Bieter sind Unternehmen, die vollständige Sputter-Systeme anbieten und nachweislich in den letzten zwei Jahren mehr als fünf Anlagen verkauft haben. Erwartet wird der Nachweis einer dauerhaften Funktionsfähigkeit der Geräte von mindestens 5 Jahren.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Der Auftrag wird aus technischen Gründen nur als Gesamtpaket an einen Lieferanten vergeben.
Bitte registrieren Sie sich für die Teilnahme an der elektronischen Ausschreibung kostenlos unter www.subreport.de und laden sich die Unterlagen für die Angebotsabgabe herunter. Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für die Ausschreibung relevanten Informationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen oder Vergabeunterlagen automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail Adresse erhalten.
Zu den geforderten Leistungen ist ein Hauptangebot abzugeben. Änderungen und Ergänzungen der Verdingungsunterlagen sind unzulässig. Nebenangebote sind nicht zugelassen. Das Angebot muss sämtliche Preise und eine ausführliche Beschreibung zum Angebotsumfang enthalten. Dadurch muss belegt werden, dass die Vorgaben der Leistungsbeschreibung vollumfänglich eingehalten werden. Das Angebot muss alle (sonstigen) geforderten Angaben und Erklärungen enthalten sowie rechtsverbindlich unterschrieben sein. Unvollständige Angebote werden ausgeschlossen.
Enthalten die Verdingungsunterlagen nach Auffassung des Bieters Unklarheiten oder sind diese zur Vertragsausführung unwirtschaftlich, fehlerhaft, unvollständig, nicht eindeutig oder sind die Leistungen objektiv so nicht ausführbar, so hat der Bieter die ausschreibende Stelle unverzüglich schriftlich auf dieses und die erkennbaren Folgen hinzuweisen. Der Einwand, dass sich der Bieter über den Umfang der Leistung oder die Art und Weise der Ausführung nicht genügend informieren konnte, ist ausgeschlossen.
Unzulässig sind den Wettbewerb beschränkende Absprachen im Sinne des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen, insbesondere Verabredungen oder Empfehlungen über die Abgabe bzw. Nichtabgabe von Angeboten und über die zu fordernden Preise.
Das Angebot kann nur bis zum Ablauf der Angebotsfrist geändert, berichtigt oder zurückgezogen werden. Vom Ablauf der Angebotsfrist an bis zum Ablauf der Bindefrist ist der Bieter an sein Angebot gebunden. Das Angebot sowie alle Anlagen und die geforderten Nachweise müssen in sämtlichen Teilen in deutscher oder englischer Sprache vorliegen. Andere fremdsprachige Unterlagen werden nicht gewertet; es sei denn, es liegt eine beglaubigte Übersetzung bei. Sämtliche Preisangaben sind in EURO zu machen.
*** Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihr Angebot in elektronischer Form. Laden Sie dies bei www.subreport.de bis zum Ablauf der Frist zur Abgabe (Eingangsdatum) hoch.
*** Link: https://www.subreport.de/E56254525 *** Fragen zu den Vergabeunterlagen sind ausschließlich elektronisch über die Vergabeplattform unter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation)” an die Vergabestelle zu richten. Anfragen per Email werden nicht beantwortet.
***
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Internet-Adresse: www.bundeskartellamt.de
Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen. Bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen ergeben, gilt dies bis spätestens zum Ablauf der Angebotsfrist. Teilt der Auftraggeber mit, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, kann innerhalb von 15 Kalendertagen ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer gestellt werden (§ 160 GWB).