Präparationskammer Referenznummer der Bekanntmachung: Z.1531ha-50.04.04/0089#0021
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 10587
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.ptb.de
Abschnitt II: Gegenstand
Präparationskammer
Präparationskammer für die Integration an ein bereits vorhandenes Cluster-Tool (BesTec Projekt M453).
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Präparationskammer für die Integration an ein bereits vorhandenes Cluster-Tool (BesTec Projekt M453).
Die Auftraggeberin behält sich vor, den Auftrag auf der Grundlage der Erstangebote zu vergeben, ohne in Verhandlungen einzutreten.
Abschnitt IV: Verfahren
- Zusätzliche Lieferungen, deren Beschaffung den strengen Vorschriften der Richtlinie genügt
Für die unmittelbare Präparation der Wafer und anderen Substrate vor der Abscheidung von Dünnschichten in der Bestec-Depositionskammer ist die zusätzliche Installation einer Kammer zur Substratvorbehandlung direkt am bestehenden System nötig. Es handelt sich hier um eine Spezialanfertigung. Die UHV-Kammer zur Substratvorbehandlung soll mit in die Anlagensteuerung der bestehenden Bestec-Depositionsanlage eingebunden werden. Dazu gehören Sicherheitsabfragen, Transfervorgänge und Pumpensteuerungen. Hierzu ist eine Erweiterung der Steuerungssoftware der Anlage nötig. Diese kann sinnvoll nur durch den Anlagenprogrammierer/Hersteller der Anlage erfolgen. Ebenso müssen die Kammerkomponenten wie Transfereinrichtungen mit dem bestehenden System kompatibel sein (insitu Substrat-Übergabe von einer Kammer in die nächste). Es wird also eine maßgeschneiderte Lösung für ein bestehendes System benötigt. Eine Beschaffung der benötigten Präparationskammer von einem anderen Hersteller als Fa. Bestec, würde unverhältnismäßige technische Schwierigkeiten und enorme Unzuverlässigkeit sowohl im Betrieb und als auch der Betriebssicherheit verursachen. Die existierende Anlage (sog. Cluster-Tool M453) ist ein kundenspezifisches System. Die direkte Anbindung der Präparationskammer ist aus technischen Gründen zwingend erforderlich. Die Beschaffung einer (ggf. separaten) Präparationskammer von einem anderen Hersteller ist keine Alternative, u.a. da proprietäre Software der Fa. Bestec für die Steuerung und Sicherheit der gesamten Anlage, incl. Präparationskammer, eingesetzt wird.
Es handelt sich um zusätzliche Leistungen vom ursprünglichen Auftragnehmer. Die ursprüngliche Leistung wurde im Offenen Verfahren vergeben.
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Präparationskammer
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 12489
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bitte übersenden Sie Ihre elektronischen Rechnungen über die Rechnungseingangsplattform des Bundes, welche unter https://xrechnung.bund.de abrufbar ist.
Für Rückfragen zur e-Rechnung schreiben Sie gern an unsere Mailadresse "[gelöscht]".
Weitere Informationen zur e-Rechnung und der gesetzlichen Grundlage finden Sie auch auf unserer Homepage unter: https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen/abtz/z11/e-rechnung.html.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53126
Land: Deutschland