A1003 Erweiterung Koala Sputtertool

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]2
Fax: [gelöscht]5
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Grossforschungseinrichtung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Grundlagenforschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

A1003 Erweiterung Koala Sputtertool

II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38400000 Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Erweiterung einer im Aufbau befindlichen Cluster Beschichtungsanlage mit einem zweiten Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse inkl. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE30 Berlin
Hauptort der Ausführung:

12489 Berlin Kelkuléstr. 5 (Koala Labor, 1. Etage)

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Eine Cluster Beschichtungsanlage („die Anlage“) mit vier Beschichtungs-modulen zur automatischen Herstellung kompletter Perowskit-Solarzellen für Substrate bis zu einer Größe von max. 210x210 mm² befindet sich zurzeit beim Lieferanten in der Herstellung und wird voraussichtlich in Juli – August ausgeliefert und am HZB aufgebaut werden. Für diese Anlage soll nun bereits eine Erweiterung beauftragt werden. Die dann erweiterte Anlage muss in dem bestehenden Labor (Kekuléstr. 5, 1. OG) Platz finden. Die Bedienung aller ergänzten Komponenten muss in der Bediensoftware vollständig und umfassend integriert werden. Insbesondere muss die Anlagensicherheit und CE Konformität weiterhin garantiert werden. Die Erweiterung soll umfassen:

(1) Ein zweites Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse Benötigt wird ein horizontale Sputtermodul mit zwei Rohr-Magnetrons zum Abscheiden von Metalloxid Schichten, inkl. Medien- und Leistungsversorgung. Eine größtmögliche Flexibilität in den Prozessbedingungen sollte gegeben sein (Target-Substrat-Abstand, DC vs. RF Quelle, Magnetjoche Position & Stärke). Das Modul soll über ein Vakuum-Ventil (Schieber) an die Anlage angeschlossen werden. Eine weitere Schleuse zum Be- und Entladen von einzelnen Carriern bzw. Substraten soll am anderen Ende angeschlossen werden. Diese Erweiterung zu einer Sputterlinie mit dann insgesamt 4 Sputterquellen (Magnetrons) muss hardware- und softwareseitig komplett in die obige Anlage integriert werden. Der Betrieb muss entweder in Durchlauf durch beide Module („in line“) oder getrennt voneinander in beiden Modulen über die bestehende Anlagen-Software realisiert werden können.

(2) Temperier- und Analyse Kammer An einem existierenden freien Vakuum-Port der Anlage soll eine Vakuumkammer zum Heizen und zum Kühlen (2 Plätze) von Substraten sowie zum in situ vermessen von Proben über einen optischen Zugang installiert werden.

(3) Erweiterung der Software Die bestehende Bediensoftware soll so erweitert werden, dass die Möglichkeit besteht, ein automatisches Maskenhandling in den beiden Aufdampfkammern nachträglich zu ergänzen. D.h. die Software muss unterscheiden, ob Substrate oder Masken ge-handelt werden.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Qualität / Gewichtung: 50%
Preis - Gewichtung: 50%
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
Beschleunigtes Verfahren
Begründung:

Maßnahme zur Beschleunigung investiver Maßnahmen wegen der COVID-19-Pandemie

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 123-325293
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 4110544
Bezeichnung des Auftrags:

Erweiterung Koala Sputtertool

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
30/08/2021
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED Sachsen
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: [Betrag gelöscht] EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
22/09/2021