A1003 Erweiterung Koala Sputtertool
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]2
Fax: [gelöscht]5
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
Abschnitt II: Gegenstand
A1003 Erweiterung Koala Sputtertool
Erweiterung einer im Aufbau befindlichen Cluster Beschichtungsanlage mit einem zweiten Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse inkl. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme
12489 Berlin Kelkuléstr. 5 (Koala Labor, 1. Etage)
Eine Cluster Beschichtungsanlage („die Anlage“) mit vier Beschichtungs-modulen zur automatischen Herstellung kompletter Perowskit-Solarzellen für Substrate bis zu einer Größe von max. 210x210 mm² befindet sich zurzeit beim Lieferanten in der Herstellung und wird voraussichtlich in Juli – August ausgeliefert und am HZB aufgebaut werden. Für diese Anlage soll nun bereits eine Erweiterung beauftragt werden. Die dann erweiterte Anlage muss in dem bestehenden Labor (Kekuléstr. 5, 1. OG) Platz finden. Die Bedienung aller ergänzten Komponenten muss in der Bediensoftware vollständig und umfassend integriert werden. Insbesondere muss die Anlagensicherheit und CE Konformität weiterhin garantiert werden. Die Erweiterung soll umfassen:
(1) Ein zweites Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse Benötigt wird ein horizontale Sputtermodul mit zwei Rohr-Magnetrons zum Abscheiden von Metalloxid Schichten, inkl. Medien- und Leistungsversorgung. Eine größtmögliche Flexibilität in den Prozessbedingungen sollte gegeben sein (Target-Substrat-Abstand, DC vs. RF Quelle, Magnetjoche Position & Stärke). Das Modul soll über ein Vakuum-Ventil (Schieber) an die Anlage angeschlossen werden. Eine weitere Schleuse zum Be- und Entladen von einzelnen Carriern bzw. Substraten soll am anderen Ende angeschlossen werden. Diese Erweiterung zu einer Sputterlinie mit dann insgesamt 4 Sputterquellen (Magnetrons) muss hardware- und softwareseitig komplett in die obige Anlage integriert werden. Der Betrieb muss entweder in Durchlauf durch beide Module („in line“) oder getrennt voneinander in beiden Modulen über die bestehende Anlagen-Software realisiert werden können.
(2) Temperier- und Analyse Kammer An einem existierenden freien Vakuum-Port der Anlage soll eine Vakuumkammer zum Heizen und zum Kühlen (2 Plätze) von Substraten sowie zum in situ vermessen von Proben über einen optischen Zugang installiert werden.
(3) Erweiterung der Software Die bestehende Bediensoftware soll so erweitert werden, dass die Möglichkeit besteht, ein automatisches Maskenhandling in den beiden Aufdampfkammern nachträglich zu ergänzen. D.h. die Software muss unterscheiden, ob Substrate oder Masken ge-handelt werden.
Abschnitt IV: Verfahren
Maßnahme zur Beschleunigung investiver Maßnahmen wegen der COVID-19-Pandemie
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Erweiterung Koala Sputtertool
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED Sachsen
Land: Deutschland
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland