A1019 Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Nationale Identifikationsnummer: ohne
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]2
Fax: [gelöscht]5
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Grossforschungseinrichtung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Grundlagenforschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

A1019 Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System

II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38400000 Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System inkl. Lieferung. Einbringung, Installation und Inbetriebnahme

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE30 Berlin
Hauptort der Ausführung:

Helmholtz Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Geb. 12.8, Kekuléstraße 5, 12489 Berlin, Labor

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Am HZB wird seit 2012 im Bereich der Perowskit-Photovoltaik geforscht. Ein starker Fokus liegt auf der erfolgreichen Entwicklung von Tandemsolarzellen auf Basis von Perowskiten und Silizium. Hier konnte kürzlich mit 29.2 % die zweithöchste zertifizierte Tandem-Solarzelleneffizienz weltweit gezeigt werden. Weitere Effizienz-Steigerungen erfordern ein verbessertes Verständnis u.a. der Stöchiometrie und elektronischen Zustandsdichte der in solchen Zellen eingesetzten Halbleiter- und TCO-Schichten sowie ihrer Grenzflächen.

Vor diesem Hintergrund soll im Rahmen des Investitions-Vorhabens ein integriertes System zur Abscheidung und Analytik von Halbleiter-Dünnschichten auf Zell-relevanten Flächen von 2.5x2.5cm² (1x1“) beschafft werden.

Benötigt wird eine kompakte HV/UHV-Clusteranlage, bestehend aus einer Schleusenkammer (Load Lock) mit Inertgas-(N2-)Glovebox, einer PVD-Prozesskammer, einer Photoelektronenspektroskopie-Analytikkammer und einem Transfersystem zwischen den Kammern, an dem mindestens ein weiterer Port für zukünftige Erweiterungen zur Verfügung stehen soll.

Die Anlage soll Platz für mind. 4 Proben der Größe 2.54x2.54mm² (1x1“) – typ. Glassubstrate von 1-4mm Dicke, aber auch Silizium-Wafer mit typ. Dicke 150-250µm – bieten. In der Analytik- bzw. PVD-Kammer sollen XPS-, UPS-, IPES- und CFSYS-Messungen bzw. Depositionen mittels therm. Verdampfen und Sputtern automatisiert („Rezept-gesteuert“) durchgeführt werden. Hierfür sind einfach zu bedienende integrierte Steuer- bzw. Mess-Programme notwendig.

Kernstück und ein Alleinstellungsmerkmal der Anlage wird die Photoelektronenspektroskopie mit variabler Photonenenergie im Nah-UV-Bereich (constant final state yield Spektroskopie, CFSYS); die hierfür genutzte Beleuchtungsquelle ist eine HZB-Eigenentwicklung. Hieraus ergeben sich einige besondere Anforderungen (Details  „besondere fachliche Kriterien“): Zur Ein- /Auskopplung der Nah-UV-Lichtquelle sind an der Kammer zwei einander gegenüberliegende Ports ISO CF 40 im „magic angle“ relativ zur Probe vorzusehen. Der Energieanalysator muss eine sehr niedrige Dunkelzählrate (~10 counts/s über alle Kanäle eines Multichannel-Detektors) und hohe Transmission sowie Linearität für niederenergetische Photoelektronen (0-20eV) erreichen. Die Mess-Software muss mit offenen, sehr gut dokumentierten Programmier-Schnittstellen (APIs) zur externen Ansteuerung mittels Labview ausgestattet sein, so dass die am HZB entwickelte, bereits bestehende CFSYS-Mess-Software mit vertretbarem Aufwand portiert werden kann.

Die PVD-Kammer dient zum thermischen Aufdampfen und Sputtern von organischen und anorganischen Kontaktschichten (HTL und ETL; Metalle), aus vier oder mehr Quellen. Dabei ist sicherzustellen, dass Co-Verdampfungsprozesse aus bis zu zwei Einzel-Verdampferprozessen kombiniert werden können, ohne dass es zu einer gegenseitigen Beeinflussung der Einzelquellen-bezogenen Depositionsrate und deren Ratenmessung kommt. Material- & thermisches Übersprechen (cross-talk) ist zu minimieren. Für die Be- und Entladung der Quellen mit z.T. Sauerstoff- und feuchtigkeitsempfindlichen organischen Materialien ist ein geeignetes Handling-Konzept vorzulegen.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Qualität / Gewichtung: 50%
Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 20%
Preis - Gewichtung: 30%
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Verhandlungsverfahren
Beschleunigtes Verfahren
Begründung:

Maßnahme zur Beschleunigung investiver Maßnahmen wegen der COVID-19-Pandemie

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2021/S 122-322925
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 4110516
Bezeichnung des Auftrags:

Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
30/08/2021
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen, bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen ergeben, bis spätestens zum Ablauf der Angebotsfrist. Teilt der Auftraggeber mit, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, kann innerhalb von 15 Kalendertagen ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer gestellt werden. (§160 GWB)

VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Land: Deutschland
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
08/09/2021