1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: Ion beam deposition system
Beschreibung: The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) extends its cleanroom equipment in order to realize pilot-lines for bipolar InP-Chiplets and GaAs Laser Chiplets. The FBH wants to acquire a dual ion beam system for its GaAs Laser Chiplets pilot line in order to increase its coating capabilities as well as increase throughput. The Ion beam system should be able to coat laser bars, laser coupons and PICs that are mounted in jigs and wafers up to a diameter of 200 mm with high quality optical coatings such as Al2O3, TiO2, SiO2 and Ta2O5. Key system specifications • Dual chamber (loadlock and process chamber) system capable of ion beam deposition, ion beam etching and dual ion beam sputtering • High level of uniformity over an 8” Wafer • Target-carousel with 4 targets for changing targets without venting the system • Automatic wafer handling • Capability to transfer and process jigs with laser bars having a resonator length larger than 10 mm. • Possibility to control processes using an optical thickness monitor • Small footprint due to the limited space that is available in the cleanroom Interface to MES Details to be clarified in the negotiation process; the tool delivers logfiles, which is the basic requirement for integration into the FBH-MES. A full integration using a SECS/Gem interface is desirable.
Interne Kennung: FBH-07.2
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Ort im Europäischen Wirtschaftsraum
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 2 009 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Ion beam deposition system
Beschreibung: The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) extends its cleanroom equipment in order to realize pilot-lines for bipolar InP-Chiplets and GaAs Laser Chiplets. The FBH wants to acquire a dual ion beam system for its GaAs Laser Chiplets pilot line in order to increase its coating capabilities as well as increase throughput. The Ion beam system should be able to coat laser bars, laser coupons and PICs that are mounted in jigs and wafers up to a diameter of 200 mm with high quality optical coatings such as Al2O3, TiO2, SiO2 and Ta2O5. Key system specifications • Dual chamber (loadlock and process chamber) system capable of ion beam deposition, ion beam etching and dual ion beam sputtering • High level of uniformity over an 8” Wafer • Target-carousel with 4 targets for changing targets without venting the system • Automatic wafer handling • Capability to transfer and process jigs with laser bars having a resonator length larger than 10 mm. • Possibility to control processes using an optical thickness monitor • Small footprint due to the limited space that is available in the cleanroom Interface to MES Details to be clarified in the negotiation process; the tool delivers logfiles, which is the basic requirement for integration into the FBH-MES. A full integration using a SECS/Gem interface is desirable.
Interne Kennung: FBH-07.2
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge: 1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 2 009 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Eignungskriterien: Auftragsunterlagen
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Noch nicht bekannt
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften nicht innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aus der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Angebotsabgabe gerügt werden. Verstöße, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gerügt werden. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, einzureichen.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Abteilung: Einkauf & Vergabe
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Abteilung Vergabe
Telefon: 03063922610
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 538d045e-e3fc-4d9f-be2d-c34621219398 - 01
Formulartyp: Planung
Art der Bekanntmachung: Vorinformation oder eine regelmäßige nicht verbindliche Bekanntmachung zum Zweck der Verkürzung der Frist für den Eingang der Angebote
Unterart der Bekanntmachung: 7
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 20/10/2026 09:22:31 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 726758-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 204/2026
Datum der Veröffentlichung: 21/10/2026
Voraussichtliches Datum der Veröffentlichung einer Auftragsbekanntmachung im Rahmen dieses Verfahrens: 04/01/2027