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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Kennung des Verfahrens: 9ab5e9a6-6e36-4d71-b433-883c2a7b847d
Interne Kennung: 252478
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38634000 Optische Mikroskope
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 220 000,00 EUR
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 220 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-6373
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Interne Kennung: 252478
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38634000 Optische Mikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 24/06/2026
Laufzeit: 48 Monate
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 220 000,00 EUR
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 220 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Beschreibung: Preis
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 100
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen: Gemäß den entsprechenden gesetzlichen Vorgaben
6. Ergebnisse
Höchstwert der Rahmenvereinbarungen in dieser Bekanntmachung: 220 000,00 EUR
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Ergänzung eines schon vorhandenen Gerätes: Der Auftraggeber betreibt eine hochspezialisierte Prozesslinie zur Elektronenstrahl-Lithografie, deren zentrales System eine hochauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage des Typs Raith EBPG 5200 ist. Zur Sicherstellung der erforderlichen Messgenauigkeit, Prozesssicherheit und Reproduzierbarkeit ist die Ergänzung dieser bestehenden Anlage um ein externes Präzisions-Alignment-Mikroskop vorgesehen. Das Alignment-Mikroskop muss vollständig in die bestehende Prozess- und Systemumgebung integriert werden und sowohl hardware- als auch softwareseitig mit der vorhandenen Anlage interoperabel sein. Die Integration umfasst insbesondere die Anbindung an bestehende Steuerungs-, Kalibrier- und Workflow-Strukturen sowie die Nutzung bestehender Prozess- und Ausrichtungsdaten. Eine Substitution der bestehenden Anlage oder eine aufwändige Anpassung der Prozesslinie ist ausgeschlossen. Aus objektiv nachvollziehbaren technischen Gründen kommt daher ausschließlich ein System in Betracht, das für den Betrieb mit der vorhandenen Elektronenstrahl-Lithografieanlage ausgelegt ist. Eine gleichwertige Lösung anderer Hersteller ist nicht verfügbar, ohne unverhältnismäßige technische Risiken, erhebliche Zusatzaufwände oder Einschränkungen der Funktionsfähigkeit der Gesamtanlage in Kauf zu nehmen. Die ausnahmsweise Nennung der bestehenden Anlage erfolgte somit aus technischen Gründen im Sinne des § 31 Abs. 6 VgV. Die Durchführung des Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb erfolgte auf Grundlage des § 14 Abs. 4 VgV. Zur Wahrung der Transparenz wurde eine EU-weite ex-ante-Transparenzbekanntmachung veröffentlicht (138675-2026)
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-6373
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
Rahmenvereinbarung:
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 220 000,00 EUR
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Raith BV
Angebot:
Kennung des Angebots: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-6373
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: nein
Bei dem Angebot handelt es sich um eine Variante: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
Datum des Vertragsabschlusses: 24/06/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-2101
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 63922600
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-8465
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin
Registrierungsnummer: t:03090138316
Postanschrift: Martin-Luther-Str. 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 90138316
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-5878
Offizielle Bezeichnung: Raith BV
Registrierungsnummer: 33286867
Stadt: PS Best
Postleitzahl: 5684
Land, Gliederung (NUTS): Zuidoost-Noord-Brabant (NL414)
Land: Niederlande
Telefon: +49 231 950040
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-6373
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 46295f8b-b225-4ddc-899e-97ab87acf3d6 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 03/08/2026 20:45:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 541945-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 149/2026
Datum der Veröffentlichung: 05/08/2026