1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
Beschreibung: Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung im Rahmen des Projekts APECS
Interne Kennung: FBH-01.2 Atomic Layer Etcher (ALE)
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Ort im Europäischen Wirtschaftsraum
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 944 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Atomic Layer Etching System (ALE)
Beschreibung: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern.
Interne Kennung: FBH-01.2 Atomic Layer Etcher (ALE)
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Menge: 1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 944 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
Grüne Auftragsvergabe — Kriterien: Keine Kriterien für ein umweltorientiertes öffentliches Beschaffungswesen
Gefördertes soziales Ziel: Sonstiges
Innovationsfördernde Auftragsvergabe: Die erbrachten Bauleistungen, Dienstleistungen oder gelieferten Güter beinhalten Prozessinnovationen.
5.1.8.
Zugänglichkeitskriterien
Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Auftragsunterlagen
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 5
Höchstzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 5
Das Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer Berlin
Überprüfungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen: Es gelten die gesetzlichen Bestimmungen des deutschen Vergaberechts, insbesondere §§ 160 ff. GWB.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer Berlin
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Organisation, die Angebote bearbeitet: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Abteilung: Einkauf und Vergabe
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: 493063928384
Sonstige Kontaktpersonen:
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Berlin
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: 493090138316
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
Organisation, die Angebote bearbeitet
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: e743a75b-a33d-4f98-9dd3-6be12b50a724 - 01
Formulartyp: Planung
Art der Bekanntmachung: Vorinformation oder eine regelmäßige nicht verbindliche Bekanntmachung zum Zweck der Verkürzung der Frist für den Eingang der Angebote
Unterart der Bekanntmachung: 7
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 09/06/2026 15:36:36 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 399873-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 111/2026
Datum der Veröffentlichung: 11/06/2026