1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
Beschreibung: The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a wet chemical processing tool for single wafer etching within the framework of the EU-funded APECS programme. The system is intended for the processing of compound semiconductor materials such as InP, GaAs, AlGaAs, and GaN. The tool will enable highly precise and reproducible etching processes on a per-wafer basis, including endpoint detection functionality. Compared to batch processing, the single wafer approach ensures improved process control and reproducibility, which is essential for low-volume, high-precision semiconductor manufacturing. The equipment will be installed in an existing cleanroom environment and must be compatible with ISO class 5 requirements. The procurement procedure is planned for 2026.
Interne Kennung: FBH-02 Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
2.1.2.
Erfüllungsort
Ort im Europäischen Wirtschaftsraum
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 710 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
Beschreibung: The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a wet chemical processing tool for single wafer etching within the framework of the EU-funded APECS programme. The system is intended for the processing of compound semiconductor materials such as InP, GaAs, AlGaAs, and GaN. The tool will enable highly precise and reproducible etching processes on a per-wafer basis, including endpoint detection functionality. Compared to batch processing, the single wafer approach ensures improved process control and reproducibility, which is essential for low-volume, high-precision semiconductor manufacturing. The equipment will be installed in an existing cleanroom environment and must be compatible with ISO class 5 requirements. The procurement procedure is planned for 2026
Interne Kennung: FBH-02 Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Menge: 1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 710 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Auftragsunterlagen
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Noch nicht bekannt
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer des Landes Berlin
Überprüfungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer des Landes Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften nicht innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aus der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Angebotsabgabe gerügt werden. Verstöße, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gerügt werden. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, einzureichen.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer des Landes Berlin
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Abteilung: Einkauf/ Vergabe
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4 Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Kerstin Tobis
Telefon: +493063928384
Sonstige Kontaktpersonen:
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin
Postanschrift: Martin-Luther-Straße 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +493090285300
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 23eb2d48-2cb3-4f9e-ae93-6d321bb45eae - 01
Formulartyp: Planung
Art der Bekanntmachung: Vorinformation oder eine regelmäßige nicht verbindliche Bekanntmachung zum Zweck der Verkürzung der Frist für den Eingang der Angebote
Unterart der Bekanntmachung: 7
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 10/06/2026 07:55:19 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 400550-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 111/2026
Datum der Veröffentlichung: 11/06/2026
Voraussichtliches Datum der Veröffentlichung einer Auftragsbekanntmachung im Rahmen dieses Verfahrens: 01/09/2026