1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2.1.
Verfahren
Titel: Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse
Beschreibung: Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für die Halbleiterfertigung. Gegenstand ist die Lieferung einer Anlage zur Metallabscheidung auf Substraten bis 200 mm Durchmesser im Rahmen von mikro- und nanoelektronischen Prozessen. Die Beschaffung dient der Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im Bereich der Halbleiter- und Photoniktechnologie im Rahmen des Projekts APECS.
Interne Kennung: FBH-03 Deposition module
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
2.1.2.
Erfüllungsort
Ort im Europäischen Wirtschaftsraum
2.1.3.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 386 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
2.1.6.
Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Auftragsunterlagen
5.1.
Los: LOT-0001
Titel: FBH-03 Electron beam evaporation enabling lift-off-processes for 200 mm wafers
Beschreibung: Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems zur Metallabscheidung auf Halbleitersubstraten bis 200 mm. Die Anlage dient der Herstellung von metallischen Schichten für mikro- und nanoelektronische Anwendungen.
Interne Kennung: Elektronenstrahl-Verdampfungssystem
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Menge: 1 Stück
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 1 386 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja
5.1.9.
Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Auftragsunterlagen
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 5
Höchstzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 5
Das Verfahren wird in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen durchgeführt. In jeder Phase können einige Teilnehmer ausgeschlossen werden
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer Berlin
Überprüfungsstelle: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen: Es gelten die gesetzlichen Bestimmungen des deutschen Vergaberechts, insbesondere §§ 160 ff. GWB.
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik - Vergabekammer Berlin
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Abteilung: Einkauf und Vergabe
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: 493063928384
Sonstige Kontaktpersonen:
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Berlin
Stadt: Martin-Luther-Straße 105
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: 030 90138316
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1.
ORG-0000
Offizielle Bezeichnung: Publications Office of the European Union
Registrierungsnummer: PUBL
Stadt: Luxembourg
Postleitzahl: 2417
Land, Gliederung (NUTS): Luxembourg (LU000)
Land: Luxemburg
Telefon: +352 29291
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 3a3b130e-8776-47f3-9f41-c0475a4cf85f - 01
Formulartyp: Planung
Art der Bekanntmachung: Vorinformation oder eine regelmäßige nicht verbindliche Bekanntmachung zum Zweck der Verkürzung der Frist für den Eingang der Angebote
Unterart der Bekanntmachung: 7
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 09/06/2026 15:48:23 (UTC+00:00) Westeuropäische Zeit, GMT
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 401361-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 111/2026
Datum der Veröffentlichung: 11/06/2026
Voraussichtliches Datum der Veröffentlichung einer Auftragsbekanntmachung im Rahmen dieses Verfahrens: 01/09/2026