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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Kennung des Verfahrens: eb1ee890-0d12-40d3-b78f-0426ee416f67
Interne Kennung: 242302
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
5. Los
5.1.
Los: LOT-4343
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Interne Kennung: 242302
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Zusätzliche Einstufung (cpv): 31712330 Halbleiter
5.1.2.
Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 15/07/2026
Laufzeit: 48 Monate
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin
6. Ergebnisse
Direktvergabe:
Begründung der Direktvergabe: Der Auftrag kann nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt werden, da aus technischen Gründen kein Wettbewerb vorhanden ist
Sonstige Begründung: Im Rahmen des EU-Projekts APECS ergänzt das Ferdinand-Braun-Institut (FBH) seine bestehende Anlagentechnik, um Prozesslinien für bipolare InP-Chiplets und GaAs-Laser-Chiplets zu etablieren und auf größere Substratdurchmesser (mindestens 150 mm und 200 mm) zu erweitern. Hierfür betreibt der Auftraggeber bereits eine hochspezialisierte Clusteranlage des Typs Oxford Instruments PlasmaPro 100, die integraler Bestandteil der bestehenden Prozess- und Reinrauminfrastruktur ist. Zur Umsetzung der erweiterten Prozessanforderungen ist die Ergänzung dieser bestehenden Anlage um eine zusätzliche TEOS-basierte PECVD-Prozesskammer vorgesehen. Diese Zusatzkammer muss vollständig in die bestehende Clusterarchitektur integriert werden und sowohl hardware- als auch softwareseitig mit der vorhandenen Anlage interoperabel sein. Die Integration umfasst insbesondere die Einbindung in das bestehende Vakuum-, Transfer- und Steuerungssystem sowie die Nutzung vorhandener Prozessrezepte, Schnittstellen und Automatisierungsabläufe. Eine Substitution der bestehenden Anlage oder eine grundlegende Anpassung der bestehenden Prozesslinie ist aus technischen und wirtschaftlichen Gründen ausgeschlossen. Die Kompatibilität innerhalb der Clusterplattform ist zwingend erforderlich, um die Prozessstabilität, Reproduzierbarkeit sowie die Reinraumbedingungen sicherzustellen. Aus objektiv nachvollziehbaren technischen Gründen kommt daher ausschließlich eine Prozesskammer in Betracht, die speziell für den Betrieb innerhalb der vorhandenen Oxford Instruments PlasmaPro 100 Clusteranlage ausgelegt ist. Eine gleichwertige Lösung anderer Hersteller ist nicht verfügbar, ohne unverhältnismäßige technische Risiken, erhebliche Integrationsaufwände oder Einschränkungen der Funktionsfähigkeit der Gesamtanlage in Kauf zu nehmen. Insbesondere wären bei Einsatz eines nicht kompatiblen Systems umfangreiche Anpassungen an der bestehenden Infrastruktur, Steuerungssoftware sowie an qualifizierten Prozessabläufen erforderlich, was den wirtschaftlichen und technischen Rahmen des Vorhabens überschreiten würde. Die ausnahmsweise Bezugnahme auf die bestehende Anlage erfolgt daher aus technischen Gründen im Sinne des § 31 Abs. 6 VgV. Die Durchführung eines Verhandlungsverfahrens ohne Teilnahmewettbewerb erfolgt auf Grundlage des § 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VgV. Zur Wahrung der Transparenz wird eine EU-weite ex-ante-Transparenzbekanntmachung veröffentlicht.
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-4343
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Angebot:
Kennung des Angebots: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-4343
Das Angebot wurde in die Rangfolge eingeordnet: nein
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Titel: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
Datum der Auswahl des Gewinners: 21/01/2026
8. Organisationen
8.1.
ORG-8850
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 63922600
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-6221
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin
Registrierungsnummer: t:03090138316
Postanschrift: Martin-Luther-Str. 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30 90138316
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-1080
Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH
Registrierungsnummer: 9110031368633
Stadt: Wiesbaden
Postleitzahl: 65035
Land, Gliederung (NUTS): Wiesbaden, Kreisfreie Stadt (DE714)
Land: Deutschland
Telefon: +49 06122937161
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Gewinner dieser Lose: LOT-4343
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: ebb78648-d203-49ff-819e-8264aef98fad - 01
Formulartyp: Vorankündigung – Direktvergabe
Art der Bekanntmachung: Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
Unterart der Bekanntmachung: 25
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 13/04/2026 17:21:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 254771-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 73/2026
Datum der Veröffentlichung: 15/04/2026