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1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Rechtsform des Erwerbers: Lokale Gebietskörperschaft
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
Titel: Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Beschreibung: FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Kennung des Verfahrens: 14639fdb-67e7-454e-b2f3-37ed31dcc982
Interne Kennung: FBH-2025-0142
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 22520000 Trockenätzausrüstung
2.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.3.
Wert
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 500 000,00 EUR
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Gemäß Ausschreibungsunterlagen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
5. Los
5.1.
Los: LOT-0000
Titel: Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Beschreibung: Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Interne Kennung: LOT-0000
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 22520000 Trockenätzausrüstung
Optionen:
Beschreibung der Optionen: Gemäß Zuschlagskriterien und Ausschreibungsunterlagen insbesondere Verfahrensbedingungen
5.1.2.
Erfüllungsort
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
5.1.5.
Wert
Geschätzter Wert ohne MwSt.: 400 000,00 EUR
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 500 000,00 EUR
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Zusätzliche Informationen: Gemäß Ausschreibungsunterlagen
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Lieferzeit
Beschreibung: Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 10
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)
Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Zuschlagskriterium — Zahl: 90
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung:
Rahmenvereinbarung ohne erneuten Aufruf zum Wettbewerb
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin
Informationen über die Überprüfungsfristen: Informationen über die Überprüfungsfristen: Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
6. Ergebnisse
Höchstwert der Rahmenvereinbarungen in dieser Bekanntmachung: Nicht veröffentlicht
Begründungscode: Geschäftliche Interessen eines Wirtschaftsteilnehmers
6.1.
Ergebnis, Los-– Kennung: LOT-0000
Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt.
Rahmenvereinbarung:
Höchstwert der Rahmenvereinbarung: 500 000,00 EUR
6.1.2.
Informationen über die Gewinner
Wettbewerbsgewinner:
Offizielle Bezeichnung: Plasma Therm Europe
Angebot:
Kennung des Angebots: TEN-0001
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Vergabe von Unteraufträgen: Nein
Informationen zum Auftrag:
Kennung des Auftrags: CON-0001
Datum des Vertragsabschlusses: 25/03/2026
6.1.4.
Statistische Informationen
Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge:
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen
Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1
8. Organisationen
8.1.
ORG-7001
Offizielle Bezeichnung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Registrierungsnummer: 11-2100046002-96
Postanschrift: Gustav-Kirchhoff-Straße 4
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Telefon: +49 30 63922600
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
8.1.
ORG-7004
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Berlin
Registrierungsnummer: t:03090138316
Postanschrift: Martin-Luther-Str. 105
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Plasma Therm Europe
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen
Registrierungsnummer: FR00453413692
Postanschrift: 266 chemin des Franques
Stadt: Bernin
Postleitzahl: 38190
Land, Gliederung (NUTS): Isère (FRK24)
Land: Frankreich
Telefon: +33 6 26 41 68 02
Fax: +33 4 76 24 53 81
Rollen dieser Organisation:
Bieter
Wirtschaftlicher Eigentümer:
Gewinner dieser Lose: LOT-0000
8.1.
ORG-7005
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 319c30a2-b424-4599-88ba-d85dca3644e0 - 01
Formulartyp: Ergebnis
Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 29
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/03/2026 12:24:19 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 222194-2026
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 63/2026
Datum der Veröffentlichung: 31/03/2026