Deutschland – Rastersondenmikroskope – Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.

448903-2024 - Wettbewerb
Deutschland – Rastersondenmikroskope – Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
OJ S 144/2024 25/07/2024
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1.
Beschaffer
Offizielle BezeichnungHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Rechtsform des Erwerbers: Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1.
Verfahren
TitelEntwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
BeschreibungDie in der Arbeitsgruppe Präzisionsgitter (WI-APG) bestehenden vier AFM-Systeme sind essenziell für die Qualitäts- und Prozesskontrolle der Gitterfertigung und werden dauerhaft und parallel genutzt. Eines der bestehenden, manuellen Messsysteme („Hand AFM“ CO 404820) soll durch ein teilautomatisiertes System ersetzt werden, das sowohl in der Fertigung als auch für F&E-Untersuchungen zum Einsatz kommen soll. Die zu entwickelnde AFM-Stage kombiniert eine Translations- mit einer Rotationsstage, so dass mehrere Proben in einer Messreihe automatisiert gemessen werden können (Batch-Messung), während gleichzeitig die Probenrotation jeder einzelnen Probe bzgl. des Messkopfes automatisch korrigiert werden kann. Die Translations-/Rotationsstage soll die Arbeiten erleichtern, den Messaufwand verringern und somit eine Zeitersparnis einbringen. Bisher werden die Gitter-Teststücke (Waferstücke mit etwa 1 mm Höhe, die mit Unterlage gemessen werden) per Augenmaß ausgerichtet, anschließend einzeln manuell angefahren und gemessen. Gegebenenfalls ist eine Korrektur der Probenausrichtung und eine erneute Messung nötig. Das AFM-System mit Translations-/Rotationsstage ist hauptsächlich konzipiert, um mehrere (Wafer-) Teststücke mit Gitterstrukturen automatisiert zu messen: Nach einmaliger Lokalisierung der zu messenden Strukturen und entsprechender Zuweisung der Koordinaten sollen die Proben einzeln angefahren, der Rotationswinkel vom System korrigiert und die Messung durchgeführt werden. Mit dem neuen System sind auch weiterhin einzelne, einfache Messungen entsprechend des bisherigen Vorgehens möglich, z.B. wenn keine Rotationskorrektur erforderlich ist. Weiterhin soll das neue System Batch-Messungen an Gitterträgern mit und ohne Rotationskorrektur ermöglichen. Dabei sollen Gitterträger bis zu einer Höhe von 70 mm gemessen werden können. Generell soll die Möglichkeit bestehen, Proben bis zu einer Länge von ≥ 300 mm in das Messsystem einzulegen. Die messbare Probenlänge soll dabei ≥ 200 mm für Messungen mit und ohne Rotationskorrektur sein. Die messbare Probenbreite soll mindestens ≥ 120 mm betragen. Dadurch ist zusätzlich die Ausfallsicherheit in der Gitterproduktion erhöht, da kleinere Gitterträger an zwei AFM-Systemen automatisiert gemessen werden können.
Kennung des Verfahrens626196c2-2324-4b2f-803f-33ee499fc511
Interne KennungV107
VerfahrensartOffenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigtnein
2.1.1.
Zweck
Art des AuftragsLieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38514200 Rastersondenmikroskope
2.1.2.
Erfüllungsort
PostanschriftHelmholtz-Zentrum Berlin (HZB) Albert-Einstein-Str. 15 
StadtBerlin
Postleitzahl12489
Land, Gliederung (NUTS)Berlin (DE300)
LandDeutschland
2.1.4.
Allgemeine Informationen
Zusätzliche InformationenDiese Ausschreibung wird einfach und kostengünstig über das elektronische Vergabeinformations-System subreport ELViS abgewickelt. Das Angebot und alle weiteren Unterlagen sind in elektronischer Form auf diesem Portal abzugeben. Bitte registrieren Sie sich kostenlos unter https://www.subreport.de . Erste Informationen und Unterstützung bei der Registrierung erhalten Sie durch: subreport Verlag Schawe GmbH, Buchforststr. 1-15, 51101 Köln, Tel.: +49 (0)2 21/9 85 78-23, Fax: +49 (0)221/9 85 78-66, E-Mail: info@subreport.de , Internet: www.subreport.de Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung. *** Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für die Ausschreibung relevanten Informationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen oder Vergabeunterlagen, automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail Adresse erhalten. *** Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihr Angebot ausschließlich in elektronischer Form. Laden Sie dies bei www.subreport.de bis zum Ablauf der Frist zur Abgabe (Eingangsdatum) hoch. Der Auftraggeber behält sich vor, unvollständige, nicht wie gefordert abgegebene bzw. fehlende Nachweise, Erklärungen oder sonstige Angaben nachzufordern. Ein Anspruch auf eine derartige Handhabung besteht nicht. Insbesondere kann der Auftraggeber aus Gründen der Gleichbehandlung und/oder zeitlichen Erwägungen unvollständige Angebote vom Vergabeverfahren ausschließen. *** Fragen können via Bieterkommunikation/Nachrichten ausschließlich elektronisch bis 7 Tage vor der Angebotsabgabefrist gestellt werden. Zur Wahrung des gleichen Informationsstandes aller, werden die anonymisierten Fragen und Antworten ausschließlich über subreport.de veröffentlicht. Es liegt in der Verantwortung des*der Bieters*in, sich über ergänzende Informationen in regelmäßigen Abständen zu informieren. *** Die AGBs vom Auftragnehmer sind ausgeschlossen und finden keine Anwendung. Sie werden vollständig ersetzt durch die „Allgemeinen Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen (VOL/B)“, Fassung 2003. Änderungen und Ergänzungen der Verdingungsunterlagen sind unzulässig. Nebenangebote sind nicht zugelassen. *** Das Angebot muss alle geforderten Angaben und Erklärungen enthalten sowie rechtsverbindlich unterschrieben sein. Sämtliche Preisangaben sind in EURO zu machen. Das FB 633 VHB „Angebotsschreiben“ fordert die Angabe von Brutto-Preisen. Dies gilt jedoch nur für Bieter aus der Bundesrepublik Deutschland. *** Enthalten die Verdingungsunterlagen nach Auffassung des*der Bieters*in Unklarheiten oder sind diese zur Vertragsausführung unwirtschaftlich, fehlerhaft, unvollständig, nicht eindeutig oder sind die Leistungen objektiv so nicht ausführbar, so hat der*die Bieter*in die ausschreibende Stelle unverzüglich schriftlich auf dieses und die erkennbaren Folgen hinzuweisen. Der Einwand, dass sich der*die Bieter*in über den Umfang der Leistung oder die Art und Weise der Ausführung nicht genügend informieren konnte, ist ausgeschlossen. *** Unzulässig sind den Wettbewerb beschränkende Absprachen im Sinne des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen, insbesondere Verabredungen oder Empfehlungen über die Abgabe bzw. Nichtabgabe von Angeboten und über die zu fordernden Preise. *** Das Angebot kann nur bis zum Ablauf der Angebotsfrist geändert, berichtigt oder zurückgezogen werden. Vom Ablauf der Angebotsfrist an bis zum Ablauf der Bindefrist ist der Bieter an sein Angebot gebunden. *** Das Angebot sowie alle Anlagen und die geforderten Nachweise müssen in sämtlichen Teilen in deutscher Sprache vorliegen. Anderssprachige Unterlagen werden nicht gewertet; es sei denn, es liegt eine beglaubigte Übersetzung bei. *** Für Informationen zum allgemeinen Rechtsrahmen können Bewerber sich an nachfolgend aufgeführte Stellen wenden: • Steuerrecht: www.bundesfinanzministerium.de Rubrik Steuern, Bundesfinanzministerium, 11016 Berlin, Tel.-Nr.: 01888/682-0, Fax: 01888/682-4248, • Umweltrecht: www.bundesumweltministerium.de Rubrik Gesetze/Verordnungen, Bundesumweltministerium, Postfach 120629, 53048 Bonn, Tel.-Nr.: 01888/305-0, Fax: 01888/305-3225, • Arbeitsschutz und Arbeitsbedingungen: www.bmas.bund.de Rubrik Arbeitsschutz; Bundesministerium für Arbeit und Soziales, 53107 Bonn, Tel.-Nr.: 01888/527-0, Fax: 01888/527-4900, • Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen können sich die Bieter an nachfolgend aufgeführte Stelle wenden: www. bundeskartellamt.de Vergabekammern des Bundes, Bundeskartellamt, Telefon: +49 228 9499-0, Fax: + 49 228 9499-163
Rechtsgrundlage
Richtlinie 2014/24/EU
vgv - Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
2.1.5.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung
Der Bieter muss Angebote für alle Lose einreichen
2.1.6.
Ausschlussgründe
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriftenund sämtliche Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach GWB §§ 123 bis 126
5. Los
5.1.
LosLOT-0001
Titel: Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung
Beschreibung: Entwicklung, Lieferung sowie Inbetriebnahme eines teilautomatisierten AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
Interne Kennung: V107
5.1.1.
Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38514200 Rastersondenmikroskope
5.1.2.
Erfüllungsort
Postanschrift: Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) Albert-Einstein-Str. 15 
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Die Aufstellung erfolgt in Gebäude 14.51 in Raum 3196, einem Reinraum Klasse ISO 5. Entsprechende Maßnahmen/Vorkehrungen sind bei der Anlieferung und Installation zu berücksichtigen.
5.1.3.
Geschätzte Dauer
Datum des Beginns16/09/2024
Enddatum der Laufzeit30/09/2025
5.1.6.
Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugebenErforderlich für das Angebot
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesennein
5.1.7.
Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen AuftragsvergabeKeine strategische Beschaffung
5.1.9.
Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Eignung zur Berufsausübung
Beschreibung: • Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet • Handelsregisterauszug (möglichst nicht älter als drei Monate) • Unterschriebene Eigenerklärungen: Ausschlussgründe nach den §§ 123,124 GWB
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Beschreibung: • Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet o Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie ggf. den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die letzten drei Geschäftsjahre. • Nachweis der Betriebshaftpflichtversicherung des Unternehmens
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

Kriterium:
Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Beschreibung: • Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet o Erklärung über die Anzahl der Beschäftigten des Unternehmens sowie ggf. die Anzahl der davon beschäftigten Facharbeiter, bezogen auf die letzten drei Geschäftsjahre o Angaben zur technischen Ausstattung o mind. Zwei Referenzen vergleichbarer Komplexität, möglichst nicht älter als drei Jahre. Als vergleichbar gelten Referenzen, die das Design, die Installation sowie erfolgreiche Inbetriebnahme eines kundenspezifischen AFM-Systems in Forschung oder Industrie beinhalten. o Angaben zu Projekt-Mitarbeitenden/Ansprechpersonen
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen

Kriterium:
Art: Sonstiges
Beschreibung: • Unterschriebene Eigenerklärungen: o Sanktionen RUS o EU-Angaben zum Bieter • Vertretungsbefugnis bei juristischen Personen – vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet • Ggf. Bevollmächtigung des Vertreters bei Bietergemeinschaften • Kurze Unternehmenspräsentation
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Der Erwerber behält sich das Recht vor, den Auftrag aufgrund der ursprünglichen Angebote ohne weitere Verhandlungen zu vergeben
5.1.10.
Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: A - Preis
Beschreibung: 5 Punkte erhält das Angebot mit dem niedrigsten Angebotspreis. Die weiteren Angebote werden prozentual abgewertet. Die erreichte Punktzahl wird multipliziert mit dem angegebenen Bewertungsfaktor (Gewichtung) des jeweiligen Kriteriums und ergeben die erreichte Bewertungspunktzahl.
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 70

Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: B-Abschluss Designphase
Beschreibung: Die Designphase sollte bis möglichst bis zum 10.12.2024 abgeschlossen sein. Als Abschluss gilt die Übergabe der Konstruktionszeichnungen an den AG. Im Preisblatt hat der Bieter das verbindliche Datum anzugeben, wann die Designphase abgeschlossen wird. Das angegebene Datum wird entsprechend berücksichtigt und wie folgt bewertet: 5 Punkte: Abschluss der Designphase bis einschließlich zum 10.12.2024 oder früher 3 Punkte: Abschluss der Designphase zwischen dem 10.12.2024 bis einschließlich zum 31.01.2025 1 Punkt: Abschluss der Designphase zwischen dem 01.02.2025 bis einschließlich zum 28.02.2025 0 Punkte: Abschluss der Designphase nach dem 28.02.2025 Die erreichte Punktzahl wird multipliziert mit dem angegebenen Bewertungsfaktor (Gewichtung) des jeweiligen Kriteriums und ergeben die erreichte Bewertungspunktzahl.
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 30
5.1.11.
Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sindDeutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.subreport.de/E92258785
5.1.12.
Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.subreport.de/E92258785
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden könnenDeutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichenNicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 26/08/2024 10:00:00 (UTC+2)
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss35 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: siehe Bewerbungsbedingungen und Vergabeunterlagen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 26/08/2024 10:15:00 (UTC+2)
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgenNein
Elektronische RechnungsstellungErforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Informationen über die Überprüfungsfristen: Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe. Der Nachprüfungsantrag ist ebenfalls unzulässig, wenn mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
5.1.15.
Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16.
Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
ÜberprüfungsstelleBundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstelltHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstelltHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstelltHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmtHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die Angebote bearbeitetHelmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
TED eSenderDatenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
8. Organisationen
8.1.
ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Registrierungsnummer: Berichtseinheit-ID 00005522
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1  
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 14109
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Telefon: +49 30806213185
Rollen dieser Organisation
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
Organisation, die Angebote bearbeitet
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1.
ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16  
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49 22894990
Rollen dieser Organisation
Überprüfungsstelle
8.1.
ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1.
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: cc1afeba-31cb-486a-ab1f-d38b207ca9b3 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 23/07/2024 08:36:59 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2.
Informationen zur Veröffentlichung
Veröffentlichungsnummer der Bekanntmachung: 448903-2024
ABl. S – Nummer der Ausgabe: 144/2024
Datum der Veröffentlichung: 25/07/2024