Belackungs- und Entwicklungsstation Referenznummer der Bekanntmachung: UNI-31-2023-0009
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Bibliothekstrasse 1 / VWG 1110
Ort: Bremen
NUTS-Code: DE501 Bremen, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 28359
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-bremen.de
Abschnitt II: Gegenstand
Belackungs- und Entwicklungsstation
Lieferung einer Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie
Bremen
Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse Haftvermittlung/Oberflächenaktivierung im Vakuum, Spin-Coating, Ausheizen, Entwickeln und Spray-Coating von Fotolacken umfasst. Diese Anlage muss die Möglichkeit bieten, diverse fotolithografische Prozesse, als typischerweise ersten Schritt für alle Arten von Anwendungen, für vielfältige wissenschaftliche Ansprüche durchzuführen. Dabei sollen nicht nur die Grundfunktionen dem aktuellen Stand der Technik entsprechen, es müssen auch besondere Ansprüche an die Flexibilität bezüglich der eingesetzten Materialien/Techniken (z.B.: auswechselbare Zu- und Ableitungsgefäße, Möglichkeit der vollständigen Reinigung, mögliche Erweiterungen etc.), sowie den erhöhten Sicherheitsnotwendigkeiten (geschlossene Systeme, Absaugungen, Sensoren zur Füllstandsüberwachung) beachtet werden.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Postanschrift: Contrescarpe 72
Ort: Bremen
Postleitzahl: 28195
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 42136159796
Fax: +49 421496-32311
Internet-Adresse: https://bau.bremen.de/ressort/vergabekammer-3529