Belackungs- und Entwicklungsstation Referenznummer der Bekanntmachung: UNI-31-2023-0009

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Universität Bremen - Zentraler Einkauf
Postanschrift: Bibliothekstrasse 1 / VWG 1110
Ort: Bremen
NUTS-Code: DE501 Bremen, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 28359
Land: Deutschland
E-Mail:
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-bremen.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Belackungs- und Entwicklungsstation

Referenznummer der Bekanntmachung: UNI-31-2023-0009
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Lieferung einer Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE501 Bremen, Kreisfreie Stadt
Hauptort der Ausführung:

Bremen

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse Haftvermittlung/Oberflächenaktivierung im Vakuum, Spin-Coating, Ausheizen, Entwickeln und Spray-Coating von Fotolacken umfasst. Diese Anlage muss die Möglichkeit bieten, diverse fotolithografische Prozesse, als typischerweise ersten Schritt für alle Arten von Anwendungen, für vielfältige wissenschaftliche Ansprüche durchzuführen. Dabei sollen nicht nur die Grundfunktionen dem aktuellen Stand der Technik entsprechen, es müssen auch besondere Ansprüche an die Flexibilität bezüglich der eingesetzten Materialien/Techniken (z.B.: auswechselbare Zu- und Ableitungsgefäße, Möglichkeit der vollständigen Reinigung, mögliche Erweiterungen etc.), sowie den erhöhten Sicherheitsnotwendigkeiten (geschlossene Systeme, Absaugungen, Sensoren zur Füllstandsüberwachung) beachtet werden.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Preis
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2023/S 178-558217
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein
V.1)Information über die Nichtvergabe
Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer der Freien Hansestadt Bremen bei der Senatorin für Bau, Mobilität und Stadtentwicklung
Postanschrift: Contrescarpe 72
Ort: Bremen
Postleitzahl: 28195
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 42136159796
Fax: +49 421496-32311
Internet-Adresse: https://bau.bremen.de/ressort/vergabekammer-3529
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
16/10/2023