Bedampfungsmodul Referenznummer der Bekanntmachung: Z.1531ha-0131#0032

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 10587
Land: Deutschland
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.ptb.de
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Wissenschaft und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Bedampfungsmodul

Referenznummer der Bekanntmachung: Z.1531ha-0131#0032
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Bedampfungsmodul für die Integration in ein bereits vorhandenes Cluster-Tool (BesTec Projekt M453 mit Präparationskammer).

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: [Betrag gelöscht] EUR
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE300 Berlin
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Bedampfungsmodul für die Integration in ein bereits vorhandenes Cluster-Tool (BesTec Projekt M453 mit Präparationskammer).

II.2.5)Zuschlagskriterien
Preis
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Die Auftraggeberin behält sich vor, den Auftrag auf der Grundlage der Erstangebote zu vergeben, ohne in Verhandlungen einzutreten.

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)
  • Zusätzliche Lieferungen, deren Beschaffung den strengen Vorschriften der Richtlinie genügt
Erläuterung:

Beschafft werden soll ein Elektronenstrahl (e-beam) -Aufdampf-moduls zur Abscheidung metallischer Dünnschichten für die Entwicklung und Herstellung von neuen supraleitenden Quantensensoren. Das Modul soll die Depositionsanlage BesTec M435 (Größtgerät 04/15) erweitern. Diese Anlage ist die zentrale Komponente der Dünnschicht-Technologie für die Herstellung von SQUID-Sensoren. Zentrale Anlage für die Abscheidung von Supraleiter- und Normalleiter-Dünnschichten ist der Ultra-Hochvakuum (UHV)-Depositionscluster BesTec M435. Es werden darin mittels sog. Plasma-Zerstäubung (PVD) qualitativ hochwertige Dünnschichten der Metalle Niob, Aluminium und Palladium-Gold hergestellt. Zudem wird in der Anlage die thermische Oxidationen der Oberflächen abgeschiedener Supraleiter-Dünnschichten mit definierter Exposition durchgeführt, um Josephson-Kontakte aus dem Materialsystem Nb/Al/AlOx/Nb zu realisieren. Der Depositionscluster wurde als Größtgerät 04/15 beschafft und ist seit Anfang 2017 in Betrieb. Ab 2023 wird die Anlage im Walther-Meißner-Bau weiterbetrieben. Nach Wiederinbetriebnahme wird der Depositionscluster um eine UHV-Kammer zur Substratvorbehandlung erweitert werden. Es wird damit eine definierte Hoch-Temperierung von Silizium-Substraten unter UHV-Bedingungen derart ermöglicht, dass unmittelbar nach der Substrat-Präparation ohne Bruch des Anlagen-Vakuums die Depositionsprozesse im Cluster erfolgen können. Diese in-situ-Substratvorbehandlung wird strukturelle und

elektrische Eigenschaften der PVD-abgeschiedenen Nb- und Al-Dünnschichten für SQUID-Sensoren verbessern. Das hier beantragte Erweiterungsmodul soll zusätzlich zu den PVD-Abscheidungsprozessen zukünftig die Abscheidung vergleichsweise niedrig-schmelzender metallischer Materialen, speziell hochreinem Al und Gold, durch Elektronenstrahl-Verdampfung ebenfalls in dem Depositionscluster ermöglichen. Gegenüber PVD-Abscheidung weist Elektronenstrahl-Verdampfung von Al und Au technische Vorteile auf, z.B. höhere

Abscheideraten und geringere Verunreinigungen, die für die Herstellung von höchstempfindlichen SQUID-Sensoren relevant sind. Das Erweiterungsmodul soll als eine UHV-Kammer für die Mehrtiegel-Elektronenstrahl-Verdampfung von Al und Au ausgelegt werden. Es ist lediglich die planare Abscheidung (keine Substrat-Kippung für Mehrwinkel-Schrägdepositionen) vorgesehen. Diese Auslegung ist an die planaren integrierten Schaltungsauslegungen der SQUID-Sensoren des FB 7.6 angepasst. Die Ausstattung des Moduls mit Sensorik zur Schichtdickenmessung

oder Ratenstabilisierung während der Depositionen ist absehbar nicht erforderlich. Die Kammer wird über die UHV-Kammer zur Substratvorbehandlung mit dem Depositionscluster verbunden. Pump- und Abscheideprozesse werden teil-automatisiert und in die Gesamtsteuerung des Depositionsclusters eingebunden. Mit der Erweiterung des Depositionsclusters um das beschriebene Elektronenstrahl-Aufdampfmodul sollen Depositionen von Dünnschichtsystemen für SQUID-Sensorschaltungen erfolgen, die bisher nicht realisierbar sind. Es ist bekannt, dass speziell qualitativ höchstwertige Al/AlOx/Al-basierte Josephson-Kontakte durch Elektronenstrahl-Verdampfung abgeschiedene hochreine Al-Dünnschichten erfordern. Derartige Josephson-Kontakte sollen zukünftig in SQUID-Sensoren, die in zunehmendem Maße bei <1 K angewendet werden, zum Einsatz kommen. Die Integration des Aufdampfmoduls in den Cluster ist vorgesehen, um vollständige in-situProzessierungen durch Substratvorbehandlung, kombinierbare Verdampfungs- und PVD-Abscheidungen und thermische Oxidationen zu ermöglichen. Dadurch soll erreicht werden, dass kombinierte Supraleiter/ Normalleiter-Mehrlagen mit optimierten Funktionseigenschaften für SQUID-Sensoren und andere Kryodetektoren hergestellt werden.

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 4500150676/0131#0032/Z.1531ha
Bezeichnung des Auftrags:

Bedampfungsmodul

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
28/04/2023
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Land: Deutschland
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: [Betrag gelöscht] EUR
Gesamtwert des Auftrags/Loses: [Betrag gelöscht] EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen
Es können Unteraufträge vergeben werden

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bitte übersenden Sie Ihre elektronischen Rechnungen über die Rechnungseingangsplattform des Bundes, welche unter https://xrechnung.bund.de abrufbar ist.

Für Rückfragen zur e-Rechnung schreiben Sie gern an unsere Mailadresse "[gelöscht]".

Weitere Informationen zur e-Rechnung und der gesetzlichen Grundlage finden Sie auch auf unserer Homepage unter: https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen /abtz/z11/e-rechnung.html.

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53126
Land: Deutschland
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
28/04/2023