Rasterelektronenmikroskop (REM) mit integrierter Mikrofräsapparatur Referenznummer der Bekanntmachung: 2022-TUK-1139
Vorinformation
Diese Bekanntmachung dient nur der Vorinformation
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Kaiserslautern
NUTS-Code: DEB32 Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 67663
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n):[gelöscht]
E-Mail: [gelöscht]
Telefon: [gelöscht]
Fax: [gelöscht]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: www.uni-kl.de
Abschnitt II: Gegenstand
Rasterelektronenmikroskop (REM) mit integrierter Mikrofräsapparatur
Das Mikrofräsen ist ein flexibles und ökonomisches Herstellungsverfahren von Mikrostrukturen in vielen Anwendungsbereichen. Bei der Herabskalierung treten sogenannte Größeneffekte auf, welche die Spanbildung in starkem Maße beeinflussen. Daher sind für die Mikrozerspanung aufgrund fehlenden Prozessverständnisses keine allgemeingültigen Spanbildungsmodelle vorhanden. In LPME ermöglicht der Einsatz eines Rasterelektronenmikroskops (REM) mit integrierter Mikrofräsapparatur die Spanbildung beim Mikrospanen mit sehr geringen Spanungsdicken erstmals unter realen Prozessbedingungen direkt zu beobachten und zu verstehen. Durch die Mikrozerspanung im Orthogonalschnitt im REM kann die veränderte Spanbildung visualisiert und untersucht und so Spanbildungsmodelle für die Mikrobearbeitung aufgestellt und die Prozesse tiefer erforscht werden.
Technische Universität Kaiserslautern Gottlieb-Daimler-Str. 74 LPME 67663 Kaiserslautern
Geplanter Kauf nach freiwilliger Ex-Ante Bekanntmachung am 17.05.2022 bei Firma Tescan GmbH, Zum Lonnenhohl 46, 44319 Dortmund
eines Rasterelektronenmikroskops inkl. Lieferung, Installation und Einweisung mit folgenden Anforderungen:
Zulässige Probenabmessungen min. 160x120x100 mm (LxBxH)
Zulässiges Probengewicht min. 2,5 kg (inkl. Verkippung)
Scangeschwindigkeit max. 25 ns/px bei 512x512 px
Emittertyp Schottky Feldemitter Kathode - gewünscht
Anregungsspannung min. 0,5 - 30 keV
Detektoren SE, BSE und EBSD
Auflösung in Hochvakuum (SE) max. 3 nm @ 30 keV, 6 nm @ 3 keV
Vergrößerungsbereich min. 10x bis 500.000x
Bildauflösung min. 6.000x8.000 px
Verfahrwege der
Mikroskopachsen XY: min. 75 mm, Z: min. 50 mm, R: endlos, T: min. -20° bis +90°
Vakuum Hochvakuum, <10-2 Pa
Weitere Funktionen
Modellbasierte Live-Kollisionskontrolle
Unterbrechungsfreie Stromversorgung
Vibrationsdämpfungssystem - gewünscht
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Begründung für die am 17.05.2022 geplante direkte Beschaffung bei Firma Tescan GmbH, 44319 Dortmund:
Das MIRA4 GMS von Tescan ist das einzige Rasterelektronenmikroskop, das aufgrund der Kammergröße, der Belastbarkeit der Achsen und der verfügbaren Scangeschwindigkeit für die geplanten Forschungsvorhaben geeignet ist und alle weiteren Anforderungen erfüllt.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YEWR7C1